пирофосфатометр

HORIBA / HORI CS - 620F Волоконно - оптический типпирофосфатометрПодробности продукции:

В процессе 3D NAND десятки слоев диоксида кремния и нитрида кремния осаждаются, а слой нитрида кремния избирательно подвергается воздействию высокотемпературной фосфатной кислоты. В этом процессе, контролируя концентрацию и температуру химического раствора, можно получить ожидаемую скорость травления. Зрелым моделям трудно измерить высокотемпературные химические растворы, но CS - 620F может быть измерен при высоких температурах до 170 °C. Непрерывные измерения с использованием спектра поглощения требуют меньше технического обслуживания и расходных материалов, чем другие методы.

характеристики продукта

• Высокая концентрация фосфата может быть измерена до 92%.

•Нет необходимости в механизме охлаждения и времени охлаждения.

•Высокотемпературная фосфатная кислота (от 140 до 170°С) в циркуляционных трубопроводах охлаждения не требуется и может быть измерена напрямую.

•Образцы используют контакт ПФА для снижения риска загрязнения.

•Использование полугодового цикла коррекции фона помогает значительно сократить время простоя.

•Обновление данных измерений каждые 3 секунды помогает быстрее контролировать их с помощью обратной связи с концентрацией.

Стабильность

▶ В результате измерений образец (фактический раствор) измеряется в течение 1 часа и демонстрирует хорошую стабильность.

▶ Условия измерения

Период измерения: время измерения каждые 3 секунды: среднее число перемещений за 1 час: 16.

Концентрация проб (начальная концентрация проб) H3PO4: 92,2 H2O: 7,8% температура проб: 141°C.

HORIBA / HORI CS - 620F Волоконно - оптический типпирофосфатометрПараметры продукта:

Больше рекомендаций:

Концентратор химической жидкости оптического типа CS - 600F

CS - 600F предлагает более продвинутые функции, подходящие для производства, такие как способность проводить онлайн - измерения высокотемпературных химических растворов в различных приложениях, стабильная работа с меньшим временем простоя и компактные размеры для повышения пространственной производительности,Точное регулирование концентрации химических жидкостей для удовлетворения потребностей высококачественного процесса мокрого производства полупроводников.

Меньшие размеры, более гибкая планировка.

Концентрометр CS - 600F компактный по размерам и на 36% ниже по сравнению со зрелой моделью (серия CS - 100F1), на 40% меньше по объему и на 46% меньше места, необходимого для волоконно - оптического кабеля блока образца. Элементы источника света и концентрометры могут устанавливаться отдельно удаленно, поддерживая гибкую установку в зависимости от местоположения химических блоков и очистительных устройств.

Онлайн - измерение высокой устойчивости высокотемпературных химических растворов (от 20 до 80°С)

Новые оптические системы и улучшенные алгоритмы обработки поддерживают онлайн - измерения высокотемпературных химических растворов, что является ключевым шагом в процессе отличной мокрой обработки. Это устраняет необходимость охлаждения химических образцов. У Horiba высокая стабильность CS - 600F.Более эффективное и точное управление химическими препаратами.

Частота коррекции фона значительно снижается

По сравнению со зрелыми моделями (серия CS - 100F1) частота периодической коррекции значительно снижается, что, в свою очередь, значительно сокращает время простоя станка и способствует увеличению производства.

Один концентратор может измерять до шести химических веществ (тип или диапазон концентрации)

Один концентратор может измерять до шести химических растворов (тип или диапазон концентраций). Можно свободно назначать тип и диапазон концентрации препарата, а CS - 600F гарантирует выполнение различных требований к тестированию.

Может выводить измерения до шести компонентов (последовательный выход)

Зрелые модели (серия CS - 100F1) могут выводить измерения четырех компонентов (последовательные выходы). Новая модель CS - 600F может выводить измерения до шести компонентов в режиме последовательного вывода.Модель CS - 600F выводит четыре компонента, а модель CS - 100F1 - два.

Параметры продукта: