Станционный термометр AIXTRON EX - C - 7FL

ДоговариваемыйОбновление на05/07

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Высокоточный сапфировый пирометр EX - C - 7FL производства BASF используется в качестве системы измерения температуры на дне станков AIXTRON G3, G4, G5 MOCVD (BOTTOM TEMPERATURE MONITOR).

Подробности о продукте

Основные характеристики

Использование коротких волн для измерения низких температур	Высокая точность, разрешение 0,01 °C, точность измерения температуры 1,5 °C
Температура повторяется 0,1ºC, температурный дрейф не превышает 0,1ºC в год	Скорость измерений до 1000 значений в секунду.
Цифровой / или аналоговый выход, легко интегрированный в систему управления

Подробное описание

Станционный термометр AIXTRON EX - C - 7FLВысокоточный сапфировый пирометр, изготовленный BASF, используется в качестве системы измерения температуры на дне станков AIXTRON G3, G4, G5 MOCVD (BOTTOM TEMPERATURE MONITOR).

Станционный термометр AIXTRON EX - C - 7FLСодержит датчик EI110, оптическое волокно, сапфировые трубки, цифровой модуль IFD5, аналоговый модуль IFA5, поддерживающий кабель и т. Д., Диапазон измерения температуры охватывает 100 - 1800°C, точность до 1,5°C, повторяемость 0,1°C.

BASF Exactus ® Серия термометровОн широко используется в полупроводниковых процессах, таких как быстрый отжиг, быстрое окисление и тонкопленочное осаждение, и интегрирован в несколько устройств MOCVD и других RTP - устройств, таких как AIXTRON, LPE, Premtek и т. Д. Кроме того, из - за высокой точности и стабильности измерения температуры, он также используется некоторыми высокотемпературными производителями черного тела в качестве температурных эталонов, таких как Thermogauge.

Типичное применение

Термоконтроль RTP	Контроль температуры MOCVD
Теплоконтроль MBE	температурный эталон

технические параметры

Измерительные параметры
Температурный диапазон:	100 – 1800℃
Рабочая длина волны:	1550нм
Точность измерений:	Более 1,5 °C или 0,15% измерений
Разрешение:	最高0.01℃
Точность повторения:	0.1℃
Температурный дрейф:	Максимум 0,10°C / год Окружающая среда: 0,05 °C / C @ 20 - 45 °C, 0,10 °C / C @ Другие температуры
Камера:	Сапфировая трубка

физические параметры
Электричество:	12-28 ВПС, 3 Вт
Температура хранения:	-20 до 70 ℃
Температура окружающей среды:	Электронные устройства: 0 - 60°C Специальные объективы в суровых условиях: 0 - 250°C Высокотемпературное волокно: 0 - 250°C
Материал оболочки:	Датчики и корпус объектива, 304 нержавеющая сталь / алюминий; Оболочка пневматического продувания, алюминий; Специальный объектив для суровых условий: 304 нержавеющая сталь;
Вес:	Стандартный пирометр, 0.510 кг (1.125 lbs.) Волоконно - оптический датчик, 0198 кг (7 oz.)

Похожий продукт рекомендовать