- Электронная почта
- Телефон
-
Адрес
улица Чанъян, 1687, дом 2, комната 204 - 2.
Категории продукта
Кайгонас приборостроительная коммерческая (Шанхайская) компания с ограниченной ответственностью
Атомная система осаждения
ДоговариваемыйОбновление на05/06
- Модель
- Природа производителя
- Производители
- Категория продукта
- Место происхождения
Обзор
SAL1000G представляет собой небольшую настольную систему осаждения атомного слоя ALD, содержащую бардачки, с хорошей однородностью и * ступенчатым покрытием, которое позволяет пользователям точно контролировать осаждение каждого атомного слоя. Через бардачки можно работать в среде инертного газа и предотвращать вдыхание наночастиц. Устройство представляет собой небольшую и доступную модель, которая сочетается с хостом и контрольным источником питания, стремясь к более простой работе только на рабочем столе. Он способен обрабатывать отложения до 4 "кристаллических кругов и принимать меры безопасности для каждого компонента.
Подробности о продукте
SAL1000ГАтомная система осажденияособенности:
- Разнообразие -
Вакуумный переносной бардачковый ящик может обрабатывать легко окисляющиеся образцы.
Предшественник снабжен двумя наборами клапанов и баллонов.
Возможность нагрева предшественника до 200 градусов по Цельсию.
• Возможность выбора опоры автоматического вращения основной пластины.
Возможность выбора деталей для осаждения порошка.
• Возможность выбора недорогого оборудования для обработки выхлопных газов.
- Проявление -
Обеспечить осаждение каждого однородного атомного слоя на поверхности фундамента игольчатым свободным слоем.
• Покрытие лестницей отложений на поверхности неравномерной или 3D - формы.
• По сравнению с CVD и PVD можно получить более качественные осадочные материалы, особенно для материалов с более высоким соотношением сторон и пористости.
- Операционный интерфейс дружественный -
• Пользователи сенсорного экрана могут легко настроить формулу или процесс осаждения и проверить движение каждой приводной системы.
• Автоматическое осаждение и автоматическое завершение выбросов N2 после завершения осаждения.
Вакуумный выхлоп и введение инертного газа в бардачки также могут быть завершены автоматически.
- Безопасность -
• Это высокоуровневое устройство с различными функциями блокировки.
- Пользователи верхнего люка с функцией мягкого закрытия могут легко загружать и выгружать базовые пластины.
SAL1000ГАтомная система осажденияТехнические параметры:
производительность | |||
真空度 |
Давление достижения |
≤5Па |
|
成膜性能 |
Распределение толщины мембраны |
≤± 3% (φ 100мм) |
|
Компонент оборудования | |||
модель устройства |
SAL1000Г |
||
направление образования мембраны |
Нижняя поверхность |
||
Размер фундамента |
φ 100 мм или 4 дюйма Макс |
||
температура подогревателя фундамента |
350 ℃ Макс |
||
Количество предшественников |
2 |
||
Температура предшественника |
150 ℃ Макс |
||
Очистить газ |
N2 (газовое управление: игольчатый клапан с расходомером) |
||
перчаточный ящик |
Органическое стекло, вакуумно - азотная продувка |
||
вакуумный насос |
162L / min Ручной вакуумный механический насос |
||
вес |
本体： 50 кг, 手套箱： 35 кг, 真空泵： 27 кг |
||
Дополнительная конфигурация |
Кронштейн автоматического вращения фундамента Соединения для порошкообразных отложений Оборудование для обработки выхлопных газов Обогреватель переднего привода - 200°C |
||
Требования к установке | |||
Требования к питанию |
питание |
3 фазы, 200V±10%, 15A, 50 / 60 Гц |
|
заземление |
<100Ω |
||
кабель |
5m Пособие |
||
N2 Газ продувания |
Давление подачи |
0.1 ~.0.2Mpa |
|
интерфейс |
1/4 Свагелок |
||
сжатый воздух |
Давление подачи |
0.6 ~0.8Mpa |
|
интерфейс |
Интерфейс FI 6mm |
||
Выхлопное отверстие вакуумного насоса |
выхлопное отверстие |
KF - 25 Фланец |
|
Выхлопные отверстия оборудования |
выхлопное отверстие |
38 мм x L28 Шланговый адаптер |
|
Размер установки |
W1000 x D700 x H900 |
||
