Системы очистки серии CGX - 9N

низкотемпературная каталитическая - высокотемпературная система очистки азота

Эта система очистки использует самодельный запатентованный катализатор, этот катализатор имеет длительный срок службы, высокую глубину очистки, способность к мгновенным колебаниям антисырьевого газа; В процессе физической адсорбции и химической реакции большое количество примесей H2O, O2, CO и CO2 из инертного газа и водорода (H2) удаляется при комнатной температуре, а затем остаточные примеси и N2 удаляются с помощью высокотемпературной абсорбционной колонны, в результате чего чистые примеси на выходе удаляются ниже 1 ppb. Это устройство имеет характеристики длительного срока службы, простой работы и так далее.

Производительность продукции

* Подходит для использования в сочетании с газом - сырцом чистоты не менее 99,99%.

\ Этот продукт представляет собой двойную структуру, одна группа работы, другая группа регенеративных резервов

- Высокая глубина очистки, экспорт различных примесей с содержанием < 1 ppb

* Электрохимическая полировка 316 (L) нержавеющая сталь

• Встроенный высокоэффективный фильтр 0003 микрон

Этот очиститель оснащен башней предварительной очистки, которая удаляет большое количество примесей перед башней дорогого расходуемого ингалятора, что продлевает срок службы дорогого расходуемого ингалятора

Применение продукции

* Очистка газовых терминалов электронной промышленности, таких как высокочистый монокристаллический кремний, экстенсивное расширение чипов, крупномасштабные интегральные схемы, производство фотоэлектрических продуктов и т.д.

* Полупроводниковое технологическое оборудование: CVD, MOCVD, HVPE, диффузионные печи и т.д.

• Массовая очистка газа

Параметры системы