D07 - 7 Контроль качества расхода / расходомер

ДоговариваемыйОбновление на02/09

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Контроллер потока массы / расходомер D07 - 7 представляет собой тепловой расходомер массы, который может быть применен для измерения и управления различными газами, а также для точного контроля потока массы газа в дополнение к измерениям, а расходомер массы (MFM) может точно измерять поток массы газа. Продукт D07 - 7 является базовым продуктом семизвездочного расходомера, который отвечает основным требованиям измерения и контроля потока клиентов.

Подробности о продукте

Контроллер потока массы (Mass Flow Controller, сокращенно MFC) используется для точного измерения и контроля потока массы газа. Они имеют важное применение в научных исследованиях и производстве в различных областях, таких как полупроводниковая и интегральная промышленность, специальные материалы, химическая промышленность, нефтяная промышленность, медицина, охрана окружающей среды и вакуум. Его типичные случаи применения включают: электронные технологические устройства, такие как диффузия, окисление, экстенсивность, CVD、 Плазменное травление, распыление, ионная имплантация; Кроме того, оборудование для нанесения покрытий, волоконно - оптическая плавка, микрореакторная установка, газораспределительная система смешивания, капиллярная съемка, газовая хроматография и другие аналитические приборы.

D07 - 7 Контроль качества расхода / расходомерОбладает высокой точностью, хорошей повторяемостью, быстрой реакцией, мягким запуском, стабильным и надежным, широким диапазоном рабочего давления и другими характеристиками (может работать в условиях высокого давления или вакуума), его эксплуатация удобна в использовании, может быть установлена в любом месте и легко подключена к компьютеру для достижения автоматического управления. Контроллеры качества и расхода серии D07 обычно используются в комплекте с такими продуктами, как дисплеи потока серии D08, которые соединяются специальными кабелями между контроллером и дисплеем.

Особенности:

• Резиновое уплотнение, аналоговые схемы MFC

• Трубчатое шунтирование, длительный срок службы

D07 - 7 Контроль качества расхода / расходомерТехнические параметры:

номер	тип	Д07-7К 型	Тип D07 - 7B	Тип D07 - 7C	Тип D07 - 7CM
1	Спецификация расхода	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10) СЛМ	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10) СЛМ	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10) СЛМ	(0 ~ 5,10,20,30, 50100200300500) SCCM (0~1,2,3,5,10) СЛМ
2	Точность	±1% ФС	±1,5% ФС	±1,5% ФС	±1,5% ФС
3	линейный	±1% ФС	±1% ФС	±1% ФС	±1% ФС
4	Точность повторения	±0,2 %F.S	±0,2 %F.S	±0,2 %F.S	±0,2 %F.S
5	время отклика	Электрические характеристики: 10 sec; Газовые характеристики: 4 sec	Электрические характеристики: 10 sec; Газовые характеристики: 4 sec	Электрические характеристики: 10 sec; Газовые характеристики: 4 sec	10 секунд
6	Давление падает.	ˉ	ˉ	ˉ	<0,01 МПа
7	Диапазон рабочих перепадов давления	(0,1 ~ 0,5) МПа	(0,1 ~ 0,5) МПа	(0,1 ~ 0,5) МПа	<0,01 МПа
8	Коэффициент температуры	Нуль: ≤±0,1% F.S./℃; Расширение: ≤±0,2% F.S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	Максимальное рабочее давление	1 МПа	1 МПа	1 МПа	1 МПа
10	Давление	3 МПа	3 МПа	3 МПа	3 МПа
11	Температура рабочей среды	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	ВВ выходной сигнал	0 В ~ +5,00 В (Входное сопротивление более 100 К, выходной ток не более 3 мА)	0 В ~ +5,00 В (Входное сопротивление более 100 К, выходной ток не более 3 мА)	0 В ~ +5,00 В (Входное сопротивление более 100 К, выходной ток не более 3 мА)	0 В ~ +5,00 В (Входное сопротивление более 100 К, выходной ток не более 3 мА)
13	питание	+15 В 50 мА; -15 В 200 мА	+15 В 50 мА; -15 В 200 мА	+15 В 50 мА; -15 В 200 мА	+15 В 50 мА -15 В 50 мА
14	вес	1,1 кг	1,1 кг	1,1 кг	0,92 кг

Похожий продукт рекомендовать