Описание продукции
Система низкотемпературной каталитической очистки газа использует собственный запатентованный катализатор и адсорбент, имеет преимущества длительного срока службы, высокой глубины очистки, сильной способности к мгновенным колебаниям антигенного газа и т. Д. Используя комбинацию физической адсорбции и каталитической реакции, она может очищать инертный газ и H2O, O2, CO2, H2 и MCHC при комнатной температуре до уровня менее 1 ppb, а также удалять O2, CO2 и H2O из H2. Система имеет три типа операций: ручной, полуавтоматический и полностью автоматический, которые могут быть выбраны в соответствии с требованиями использования.
Производительность продукции
Подходит для комбинированного использования природного газа с чистотой не менее 99,99%.
\ Этот продукт представляет собой двойную структуру, одна группа работы, другая группа регенеративных резервов
* Высокая глубина очистки, экспорт различных примесей < 10 ppb \ электрохимическая полировка 316 (L) нержавеющая сталь
Встроенный высокоэффективный фильтр частиц
* Использование каталитических и адсорбционных процессов
# Низкая рабочая температура, оборудование более энергосберегающее
Применение продукции
# Очищение защитным газом: сталелитейная, нефтехимическая, машиностроительная промышленность
* Очистка газовых терминалов электронной промышленности, таких как высокочистый монокристаллический кремний, экстенсивное расширение чипов, крупномасштабные интегральные схемы, производство фотоэлектрических продуктов и т.д.
* Полупроводниковое технологическое оборудование: CVD, MOCVD, HVPE, диффузионные печи и т.д.
• Массовая очистка газа
Параметры системы