Фотолитограф с прямой записью

ДоговариваемыйОбновление на02/09

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Прямая литография серии CG - MLC6 представляет собой сложный фотолитографический продукт. Устройство использует цифровую фотолитографию без необходимости маскировать шаблон и может передавать информацию о карте непосредственно на подложку, покрытую фоторезистом. Функции серии CG - MLC6 гибкие, небольшие по размеру и рентабельные, специально адаптированные для университетов, лабораторий и исследовательских институтов. Его основные прикладные продукты включают в себя различные типы производства MEMS (например, микрофоны MEMS, датчики давления, акселерометры, гироскопы, ультразвуковые датчики, пьезоэлектрические датчики), изготовление шаблонов маски и так далее.

Подробности о продукте

Фотолитограф с прямой записьюХарактеристики продукта:

Цифровая фотолитографическая система

Неоткрытый шаблон для микроскопических устройств

Изготовление фотошаблонов

3D Структурная экспозиция

Функция автоматического наведения

Пользователь настраивает функцию выравнивания меток

Визуальная экспозиция с фиксированной точкой

Автофокусировка

Нерегулярная экспозиция образцов

Быстрые и тонкие два режима экспозиции

Поддержка нескольких форматов данных (GDS II / Gerber / O DB + +)

Функция выравнивания спины (выбор)

Источник LD 405 нм (необязательно 375 нм)

Фотолитограф с прямой записьюПараметры:

модель	MLC Lite
модель	Режим	Режим II	Режим III
Минимальный размер	0,5 мкм	1 мкм	2мкм
Минимальная ширина линии	0,8 мкм	1,2 мкм	2,5 мкм
однородность CD	10%	10%	10%
Двухэтажная точность 5x5m.	500 нм	800 нм	1000 нм
Двухэтажная точность 50x50m.	800 нм	1000 нм	1500 нм
Производительность	50 мм²/мин	100 мм²/мин	300 мм²/мин
Минимальный размер фундамента	5 мм х 5 мм
Толщина фундамента	0.1 - 12 мм (необязательно)
Площадь экспозиции	150 мм х 150 мм
Серая экспозиция	Выберите 128 ступеней
Источник экспозиции	Лазер, 405nm или 375nm

Похожий продукт рекомендовать