Автоматический дегазатор

ДоговариваемыйОбновление на02/09

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Полностью автоматическая машина для удаления клея: $n1 Название устройства: Полностью автоматическая сухая машина для удаления клея $n2 Модель устройства: CGST3100 $n3 Принцип устройства: ICP $n4 размер кристаллической окружности Wafer size: 8 inch (4 или 6 inch совместимость) $n5 кристаллический круглый материал Wafer material: Si база (если требуется указать для других материалов)

Подробности о продукте

Автоматический дегазаторОписание продукта:

1 Название устройства: Полностью автоматическая сушилка

2 Модель устройства: CGST3100

3 Принцип устройства: ICP

4 Размер окружности Wafer size: 8 inch (4 или 6 inch)

5 Материал с кристаллической окружностью Wafer material: Si - база (если это необходимо для других материалов)

Автоматический дегазаторПараметры:

основное устройство
Размер оборудования	L1300×W1190×H1847мм
Вес оборудования	800 кг
Источники питания оборудования	AC220V，3P,50/60Hz， 5 Линия, 16А
Хостинговое программное обеспечение	ОС Windows 10
Связь с центральной ЭВМ	СЭКС/ГЭМ
Жесткий диск главного компьютера	Одного / двойного
технологическая полость	ICP， Однополостный
Тип коробки	Открытый (Open cassette)
ёмкость однократной обработки кристаллической окружности	Один кусочек
Манипулятор	Ось 3 (выбор одной / двух рук)
Манипулятор	Mapping (Выбор)
Количество таблеток в час (WPH)	35 таблеток в час (1 минута стандартной формулы)
Обогревательный диск	Алюминиевый сплав, контроль температуры: 50 - 250°C
плазменная система
Тип источника питания	Радиочастотная связь
мощность источника питания	0~1000Вт
Частота питания	13,56 МГц
Прибор согласования	Автоматическое согласование
Вакуумная система
технологическая полость	алюминиевый сплав
Люмен	Дверной клапан, пневматический
真空管路	Трубопроводы из нержавеющей стали, а также высокопрочные вакуумные гофрированные трубы
бабочка	Точность контроля давления: ±50 mtorr
Вакуумный выключатель	Угольный клапан, пневматический
вакуумный насос	Сухой насос: 600 м3 / ч
Вакуумметр	0.001 - 10 то
Лазерный вакуумный выключатель	750 То
Передний вакуумный переключатель	100 Торрес
Газовая система
Технологическая газовая система	Газовые шкафы, модульные (GAS BOX)
Материал корпуса	нержавеющая сталь
Выхлоп из газового шкафа	Отрицательное давление, кислотный ряд
Конфигурация газовых шкафов	Фильтр, ручной клапан, расходомер, пневматический клапан, манометр, регулятор скорости, цепной переключатель
Маршрут газа
Газовый путь 1	О2 5СЛМ
Газовый путь 2	Н2 1СЛМ
Газовый путь 3	CF4 100SCCM
Газовый путь 4	4%H2/N2 1SLM
Газовый путь 5	N2 Медленное / быстрое разрушение вакуума

Больше потребности в электрическом общении.

Похожий продукт рекомендовать