-
Электронная почта
13817879697@126.com
-
Телефон
13817879697
-
Адрес
Шанхайский район Сунцзян, улица Гуанфулинь, 4855, 11, 5 этаж.
Категории продукта
Беннайская компания автоматизированных приборов (Шанхай)
Японский контроллер потока HORIBASTEC - 8440F8450
ДоговариваемыйОбновление на05/24
- Модель
- Природа производителя
- Производители
- Категория продукта
- Место происхождения
Обзор
Японский контроллер потока HORIBASTEC - 8440F8450
Подробности о продукте
Резюме
Массовый расходомер - это устройство, используемое для измерения или контроля потока газа. Поток обычно делится на объемный и массовый, но объем газа уязвим для внешних температур и давления, и для точного измерения необходимо постоянно изменять условия измерения, чтобы соответствовать постоянно меняющейся внешней среде. Массовый расход - это использование для измерения качества газа, а качество не зависит от внешней среды, что может обеспечить высокоточное обнаружение и контроль потока и широко используется в процессе производства полупроводников.
Характеристики
Он оснащен пьезоэлектрическим клапаном, который может использоваться в высокотемпературной среде.
Применяется при высоких температурах: выпечка при температуре 150°C
2. В линейке имеются модели продукции, отвечающие эксплуатационной температуре
3. Сверхчистый тип: полностью нержавеющая сталь в приемной части
4. Управление расходом наиболее подходящих для MOCVD органических металлических материалов, материалов с низким давлением пара, коррозионных газов
Спецификация
Карты продукции и другие
Массовый расходомер - это устройство, используемое для измерения или контроля потока газа. Поток обычно делится на объемный и массовый, но объем газа уязвим для внешних температур и давления, и для точного измерения необходимо постоянно изменять условия измерения, чтобы соответствовать постоянно меняющейся внешней среде. Массовый расход - это использование для измерения качества газа, а качество не зависит от внешней среды, что может обеспечить высокоточное обнаружение и контроль потока и широко используется в процессе производства полупроводников.
Характеристики
Он оснащен пьезоэлектрическим клапаном, который может использоваться в высокотемпературной среде.
Применяется при высоких температурах: выпечка при температуре 150°C
2. В линейке имеются модели продукции, отвечающие эксплуатационной температуре
3. Сверхчистый тип: полностью нержавеющая сталь в приемной части
4. Управление расходом наиболее подходящих для MOCVD органических металлических материалов, материалов с низким давлением пара, коррозионных газов
Спецификация
| SEC - 8340SL с основным нагревателем | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 80 до 100 °C |
| SEC-8340SM Нагреватель корпуса | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1.0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 100 до 120°C |
| СЭК-8440LSL | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 15 до 35°C |
| СЭК-8450LSL | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 10/20 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 15 до 35°C |
| SEC-8455LSL | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 30/50 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 15 до 35°C |
| СЭК-8460LSL | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 50/100 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 15 до 35°C |
| СЭК-8440LSM | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 35 до 60°C |
| СЭК-8450ЛСМ | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 10/20 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 35 до 60°C |
| СЭК-8455ЛСМ | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 30/50 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 35 до 60°C |
| СЭК-8460LSM | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 50/100 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 35 до 60°C |
| SEC-8440LSH | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 60 до 80°C |
| SEC-8450LSH | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 10/20 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 60 до 80°C |
| SEC-8455LSH | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 30/50 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 60 до 80°C |
| SEC-8460LSH | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 50/100 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 60 до 80°C |
| СЭК-8440SL | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 80 до 100 °C |
| СЭК-8450SL | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 3/5/10 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 80 до 100 °C |
| СЭК-8455SL | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 10/20 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 80 до 100 °C |
| СЭК-8460SL | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 20/30/50 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1,0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 80 до 100 °C |
| СЭК-8440СМ | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1.0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 100 до 120°C |
| СЭК-8450СМ | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 3/5/10 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1.0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 100 до 120°C |
| СЭК-8455СМ | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 10/20 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1.0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 100 до 120°C |
| СЭК-8460СМ | |
| Материал газового контакта | СУС-316Л |
| Тип клапана | NO: неэлектрифицированное время: включение |
| Стандартный диапазон расхода | 20/30/50 СЛМ |
| Диапазон регулирования потока | 2 ~ 100% F.S. (Полный диапазон) |
| Точность потока | ± 1.0% F.S. (полный диапазон) Используемая температура: от 100 до 120°C |
Похожий продукт рекомендовать
