Цифровой контроллер потока HORIBASTEC - Z512MGX

Резюме
Качественный расходомер является очень важной частью оборудования для производства полупроводников. Стабильность его работы часто является ключевым фактором успеха полупроводникового процесса.
HORIBA STEC, Являясь мировым производителем расходомеров с долей рынка более 35% * 1, он уже давно поставляет высококачественные и многофункциональные продукты для полупроводниковой промышленности. Теперь, с совершенно новой технологией, HORIBA STEC продвигает по всему миру новый тип контроллера качества трафика: серию Z500.
По сравнению со старыми моделями серия Z500X достигла совершенно нового прорыва и обречена изменить будущее технологии управления потоком. Обеспечивая все функции управления потоком, необходимые клиенту, реализуется преобразование композитного газа и комбинированного потока. Клиенты могут легко изменить тип расходомера газа и диапазон * 2 в соответствии с требованиями процесса.
Кроме того, благодаря технологическим новшествам в материалах продукции, серия Z500 полностью отвечает требованиям к дизайну зеленой продукции RoHS и повышает ценность продукции для клиентов.
Высокопроизводительные расходомеры серии Z500 принесут вам еще больше сюрпризов. Мир является свидетелем появления этого нового расходомера качества, который изменит всю полупроводниковую промышленность.
* 1 См. исследование VLSI 's 2007.
* 2 Композитный газ, функция композитного потока.
Характеристики
Высокая точность: установите значение потока ±1.0%.
Линейная точность MFC компенсируется полиномиальной приближенной кривой, которая обеспечивает высокую точность управления в каждом диапазоне управления. Для повышения точности управления различными типами газов HORIBA STEC разработала стандартную систему измерения газа и на основе многочисленных экспериментов собрала калибровочные данные по различным газам.
Высокоскоростная реакция
SEC - Z500X использует недавно разработанную систему « Изменяемый PID», которая гарантирует, что изменения между любыми двумя заданными точками потока будут завершены в течение 1 секунды. При настройке различных потоков PID - данные будут автоматически корректироваться, и даже после изменения типа газа и диапазона потока PID - данные могут быть автоматически оптимизированы для достижения высокой скорости отклика.
Композитные газы, схема комбинированного расхода
Новые продукты Horiba STEC позволяют клиентам легко изменять типы и потоки газа на месте. Наше программное обеспечение для настройки Z500 простое и простое в использовании. Более того, эти изменения не требуют даже удаления MFC из системы. Это позволяет значительно сократить количество резервов клиентов, одновременно экономя время и затраты.
Карты продукции и другие