Термотермический термостат LAUDA - NOAH POU: контроль температуры от 20 до 90C

Термотермостаты LAUDA - Noah POU используются в полупроводниковой промышленности, обеспечивая контроль температуры от - 20 до 90C

Удовлетворение жестких технологических процессов быстрого и температурного контроля

Термотермальная система управления температурой в режиме онлайн (POU) обеспечивает стабильный контроль температуры для процесса плазменного травления. Система динамически контролирует температуру электростатического патрона (ESC) и может использоваться в любом процессе травления. Система термоэлектрического контроля температуры LAUDA - Noah POU была разработана на основе принципа изменения температуры элементов Paltie. Эти оригиналы обеспечивают быстрый и точный контроль температуры и отвечают требованиям сегодняшнего производства устройств все меньших размеров.

Важные функции

Системы с низким энергопотреблением без компрессоров и хладагентов

Промышленный сектор занимает небольшую площадь, а если его поместить под пол, то нет требований к площади

Очень низкое наполнение теплопроводной жидкостью

Стандартное приложение

Емкость для жидкости с ручным насосом

Выбор приложения

Модуль связи с дистанционным управлением (протокол связи RS - 485)

Система контроля температуры LAUDA - Noah POU Online (POU) может сэкономить 90% энергии по сравнению с компрессорной системой. Возможность установки под полом делает систему небольшой, экономя пространство в чистой комнате.