Лабораторная фотолитография

ДоговариваемыйОбновление на01/22

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Параметры лабораторной фотолитографии: 1. Площадь экспозиции: 160 мм * 160 мм. 2. Разрешение экспозиции: контактная экспозиция 0,8um - 1um. 3. Точность выравнивания: 1 - 1.5um. 4. Интенсивность источника света: 35mW / cm2. 5.UV - источники света: импортированные светодиодные модули.

Подробности о продукте

Параметры лабораторной фотолитографии:

1. Площадь экспозиции: 160 мм * 160 мм

2. Разрешение экспозиции: контактная экспозиция 0,8um - 1um

3. Точность выравнивания: ±1 - 1.5um

Интенсивность источника света: 35mW / cm2

5.UV - источники света: импортированные светодиодные модули

6. Длина волны в центре экспозиции: 365 нм

7. Срок службы источника света: 10 000 часов, параллельность источника света: 2°

8. Разрешение экспозиции: контактная экспозиция 0,8um - 1um

9. Неравномерность освещенности: 3%

10. Настройка экспозиции: время

11. Выполнимый режим экспозиции: вакуумный контакт, жесткий контакт, контакт под давлением, приближение

12. Способ настройки зазора: цифровая настройка зазора экспозиции 0 - 1200um

13. Регулируемые, автоматически отделяющие и устраняющие зазоры

14. Образец, шаблон маски относительно перемещается в диапазоне: X: ±5 мм, Y: ±5 мм, 0 = ±6 °

15. Способ выравнивания шаблона маскировки: автоматическое выравнивание шаровой аэродинамической плавучести

Поддерживаемые размеры шаблонов маски: 3 'x3', 4 'x4', 5 'x5', 7 'x7' по одному

17. Стандартный подшипник: 2 дюйма, 3 дюйма, 4 дюйма, 6 дюймов

18. Стандартные аксессуары совместимы с толщиной образца: 0,1 - 5 мм, другие размеры могут быть настроены

19. Система выравнивания: Оптика + CCD, микроскопическое кратное: увеличение в 150 раз - 720 раз регулируемое

20. Диапазон регулируемых расстояний для двойных объективов: 30mm - 120mm

Похожий продукт рекомендовать