Трехпучковый резак Leica EM TIC 3X

Технология трёх ионных пучков

Компоненты трехионного пучка перпендикулярны боковой поверхности образца, поэтому при бомбардировке ионным пучком образца (закрепленного на опоре образца) не требуется качательного движения, чтобы уменьшить эффект проекции / затенения, что, в свою очередь, обеспечивает эффективную теплопроводность и уменьшает тепловую деформацию образца во время обработки.
Технология
Тройной пучок сливается в середине края щита, образуя вентилятор бомбардировки 100°, тангенциально подвергающийся воздействию образца над щитом (верхний конец образца находится примерно на 20 - 100мкм над щитом), пока бомбардировка не достигнет внутренней целевой области образца. Новая конструкция ионной пушки может генерировать скорость измельчения ионного пучка до 300 мкм / ч (высота резки Si10 кВ, 3,0 мА, 50 мкм). Уникальная трехионная пучковая система Leica позволяет получить отличное высококачественное сечение резки, а также высокую скорость, ширину и глубину разреза, что может значительно сэкономить рабочее время. Благодаря этой уникальной технологии можно получить высококачественное сечение резки, размер зоны может достигать > 4×1 мм

Leica EM TIC 3X - Инновационные особенности проектирования и эксплуатации

Высокий поток, повышение рентабельности
› Доступно высокое качество сечения резки, размер зоны может достигать > 4×1 мм
› Разнообразный дизайн стенда может вместить три образца одновременно
› Высокая скорость ионного шлифования, Si материал 300 мкм / ч, высота резки 50 мкм, может соответствовать требованиям высокого потока в лаборатории
› Максимальный размер образца 50 × 50 × 10 мм
› Доступные стенды для отбора образцов разнообразны, просты в использовании, высокоточны
› Легко и точно выполнить калибровочные работы по установке образца на платформу и регулировке положения по отношению к перегородке
› Простые манипуляции через сенсорный экран не требуют специальных навыков работы
› Процесс обработки образцов контролируется в режиме реального времени, его можно наблюдать с помощью зеркала или камеры HD - TV
› Светодиодная подсветка, облегчающая наблюдение за образцами и калибровку местоположения
› Встроенная, развязанная конструкция вакуумной насосной системы, обеспечивающая поле зрения без вибрации
› На приготовленном плоском сечении резки может быть выполнено дополнительное усиление футеровки, то есть ионно - лучевая коррозионная обработка.
› Загрузка или загрузка параметров и программ через USB
Подходит практически для любого образца материала.
› С помощью стенда для замороженных образцов, перегородки и температура образца может быть снижена до - 150°C

Разнообразие образцов.

Подходит для образцов практически всех размеров и для широкого использования. С помощью одного лотка образцов можно завершить предварительную механическую подготовку (Leica EM TXP) до резки ионного пучка (Leica EM TIC 3X), а также SEM - зеркальное обследование, которое затем помещается в коробку для хранения образцов для последующего тестирования.

Повышение футеровки

После резки ионным пучком образец не нужно брать, и с помощью той же платформы для отбора образцов можно усилить футеровку образца, усиливая топологическую структуру (например, границы кристаллов) перед различными фазами в образце

Высокая точность

В настоящее время все более мелкие детальные структуры в образцах постепенно привлекают внимание. Получение сечения путем резки, например, получение небольшой структуры отверстия TSVia, стало легким. Все стенды для отбора образцов рассчитаны на точность калибровки положения образцов ±2 мкм. Мало того, что точность управления стендом может обеспечить такую точную калибровку целевого позиционирования, система наблюдения также может наблюдать детали образца размером не менее 3 мкм для точного позиционирования цели. Чтобы помочь лучше наблюдать за образцами при позиционировании, 4 сегментированные светодиодные кольцевые источники света или светодиодное коаксиальное освещение предоставляют большую помощь, помогая пользователям получить четкое изображение из зеркала тела или камеры HD - TV.
Поскольку вакуумный насос встроен в прибор, нет необходимости освобождать отдельное пространство. Благодаря конструкции развязки вакуумного насоса, при подготовке образца поле зрения наблюдения не подвергается вибрационным помехам, создаваемым вакуумным насосом.