Фотолитографическое оборудование

ДоговариваемыйОбновление на02/09

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Описание продукции Технологическое оборудование для фотолитографии: $n должно быть использовано для 3D - инкапсуляции, LED、 Микроэлектромеханические системы, полупроводники соединений, силовые приборы и другие области $n основная конфигурация: автоматическое выравнивание, автоматическая экспозиция, светодиодный источник света, система визуального выравнивания машины, высокоточный кремниевый несущий стол, автоматическая клиновидная система компенсации ошибок $n светодиодный источник: 3 длины волны произвольной конфигурации, поддержка большего количества сцен $n высокого разрешения, высокой однородности; Длительный срок службы, простота обслуживания: $n Система визуального выравнивания машины: двухрежимное выравнивание сверху и снизу, большой обзор, высокая точность; 4 Виды освещения необязательно, технологическая адаптивность; Свободное переключение ручного и автоматического режимов

Подробности о продукте

Фотолитографическое оборудованиеОбзор продукции:

Применяется в 3D - упаковке, LED、 Микроэлектромеханические системы, полупроводники соединений, силовые приборы и другие области.

Основная конфигурация: автоматическое выравнивание, автоматическая экспозиция, светодиодный источник света, система визуального выравнивания машины, высокоточный силиконовый несущий стол, автоматическая система компенсации ошибок клина.

Светодиодные источники света: 3 длины волн произвольно настроены для поддержки большего количества сценариев применения.

Высокое разрешение, высокая однородность; Длительный срок службы, простота обслуживания:

Система машинного визуального выравнивания: двойное выравнивание верхнего и нижнего режимов, большое поле зрения, высокая точность; 4 Виды освещения необязательно, технологическая адаптивность; Ручной, автоматический режим свободно переключается.

Фотолитографическое оборудованиеТехнические параметры:

Маскировка шаблонов, кремниевых пластин
Размер кремниевой пластины	8 '/ 6'
Толщина кремниевых пластин	макс.10 мм
Размер шаблона	9' × 9' / 7' × 7' (СЕМИ)
Толщина шаблона	макс. 6,35 мм
Режим экспозиции
Контакт	Мягкий контакт, жесткий контакт, вакуумный контакт
Разрыв экспозиции	0~1000 мкм
Точность зазора	1 мкм
Интенсивность экспозиции	0 ~ ≥40mw/см 2
Аудиообъектив
Тип источника света	светодиодные
длина волны экспозиции	365нм, 405нм,
однородность силы света	4% 8 '/ 3% 6'
разрешение	Вакуумный контакт - 1 м
	Жесткий контакт 1,5 мкм
	Мягкий контакт - 2,2 мкм
	Разрыв составляет 3,6 мкм
Схема наведения
Наверх.	< ±1 мкм
Подборка нижней части	< ±2 мкм
Верхний диапазон фокусировки	5 мм
Диапазон фокусировки снизу	5 мм
Кремниевый стол
Диапазон движения	X: ±5 мм y: ±5 мм тета: ±5 °
разрешение	0,04 мкм
Сверху в объектив.
Переместить область	6' 40~150 мм
	8' 40~200 мм
Внизу на объектив.
Переместить область	6' 40~150 мм
	8' 40~200 мм
Пользовательский интерфейс
ОС Windows 10	Меню процессов хранения
Потребности на местах
Вакуум < - 0,8 кПа; Азот > 0,5 Мпа; Сжатый воздух: 0,6 ~ 0,8 МПа
Потребности в электроэнергии
Напряжение: 230 V ± 10%	Частота: 50 ~ 60 Гц
Размер вес
Длина х ширина х: 1200×1000 мм	Высота: 1973 мм Вес: ~ 400 кг

Похожий продукт рекомендовать