Композитный молекулярный насос типа магнитной левитации серии TG - M

Композитный молекулярный насос типа магнитной левитации серии TG - M

Турбомолекулярный насос состоит из многослойных лопастей ротора и статора. На рисунке ниже показан угол лопатки и направление вращения, в зависимости от которого молекула газа поступает в насос с высоковакуумной стороны и, прикрепленная к лопатке ротора, отделяется в разных направлениях в соответствии с распределением Максвелла. Однако из - за угла наклона и вращения лопатки молекула летит в следующий слой и легко проходит через лопатку статора, а затем вниз. В то же время ретроградные молекулы газа, летящие снизу и проходящие через фиксированную лопатку, также могут летать на следующий слой, сталкиваясь с лопаткой ротора. Угол лопатки заключается в том, что верхние молекулы газа легко проходят под углом (большая разница между направлением выхлопа и встречным течением), в то время как нижние молекулы газа не склонны к ретроградному (направление выхлопа относительно велико) углу. В молекулярном бассейне турбомолекулярный насос выполняет основные характеристики с помощью лопастей ротора и статора.

Основные характеристики

Безмаслянистая сверхвакуумная среда.

Механический газомолекулярный выхлоп (динамический выхлоп), скорость выхлопа для всех газов примерно одинакова.

Выделение редких и коррозионных газов.

Можно непрерывно выделять большой расход газа.

Широкий диапазон рабочего давления. (~ 10-10Па).

ОСАКАКомпозитный молекулярный насос типа магнитной левитации серии TG - M

Используйте подшипники магнитной левитации для достижения безмасляных выхлопных газов и длительного периода обслуживания. Продукты со скоростью выхлопа от 300L / с до 3400L / с.

ТГ397М / ТГ427М / ТГ907М / ТГ1307М

Особенности нового турбомолекулярного насоса с магнитными подшипниками TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

• Экономия электроэнергии

• Рабочие данные, количество контактов подшипников, информация о типе самолета и т. Д. могут храниться в корпусе молекулярного насоса при обслуживании, даже если контроллер заменен, данные могут быть переданы

• Многочисленные спецификации связи (могут соответствовать EtherCAT)

• Международные спецификации

• Соответствует спецификациям CE, SEMI - S2, NRTL

  Сфера применения:

  
  

• Оборудование для изготовления полупроводников

• Производственное оборудование FPD

• Оборудование для производства солнечных батарей

• Обработка оптических компонентов, таких как стекло / линзы

• тонкопленочная обработка

• Аппаратура для экспериментов с ускорителями / космической средой

  Технические параметры:

• 

  

•