Производитель магнитного распыления

I. СОДЕРЖАНИЕПроизводитель магнитного распыленияОсновные параметры:

Диапазон цен: 1,5 - 2 млн.

Тип прибора: устройство для покрытия методом магнитного распыления

Категория происхождения: отечественное производство

Область применения: микроэлектроника

Размер базовой пластины: 4 дюйма (можно настроить)

Цель: тантал

Диапазон температур базовой пластины: RT - 900ºC

Равномерность толщины пленки: однородность травления фундамента < 3%

Предельный вакуум: UltimatePressure < 3E - 9Torr

Технические принципы магнитного распыления:

Над поверхностью катодной мишени образуется ортогональное электромагнитное поле. Когда вторичные электроны, образующиеся в результате распыления, ускоряются до высокоэнергетических электронов в зоне падения катода, они не летят непосредственно к аноду, а движутся в направлении приближенной циклоидальной линии, которая колеблется взад и вперед под действием ортогонального электромагнитного поля. Высокоэнергетические электроны постоянно сталкиваются с молекулами газа и переносят энергию обратно, ионизируя их и превращая их в низкоэнергетические электроны. Эти низкоэнергетические электроны в конечном итоге дрейфуют вдоль линии магнитной силы к вспомогательному аноду вблизи катода и поглощаются, избегая сильной бомбардировки пластины высокоэнергетическими электронами, устраняя повреждения, вызванные бомбардировкой и нагревом пластины при вторичном распылении и облучении электронами, что отражает характеристики « низкой температуры» пластины при магнитном распылении. Благодаря наличию дополнительного магнитного поля, сложное движение электронов увеличивает скорость ионизации и обеспечивает высокоскоростное распыление.

III.Производитель магнитного распыленияТехнические характеристики:

Высокая скорость образования пленки, низкая температура фундамента, хорошая адгезия пленки, может обеспечить большую площадь покрытия

4 Послепродажное обслуживание:

Гарантийный срок: 1 год

Можно ли продлить гарантийный срок: нет

Техническое консультирование на месте: Да

Бесплатное обучение: 1. Обеспечить как минимум 2 человека в течение одной недели обучения на заводе оборудования до выпуска оборудования. 2. Завершение монтажа и ввода в эксплуатацию оборудования на месте

Бесплатное обслуживание приборов: необходимо организовать

Обязательства по гарантийному обслуживанию: в течение гарантийного срока (за исключением стихийных бедствий и антропогенного ущерба) детали, компоненты, командировочные расходы несет наш отдел

Обязательства по ремонту: при возникновении неисправности в течение гарантийного срока наш отдел своевременно отреагирует и в течение 8 часов направит техников на место для устранения неполадок;

V. Технические параметры:

VI. Демонстрация процесса: