Система точного шлифования и полировки

Серия DL - это Logitech.иметьИнновационные решения обработки - это новейшая высокоавтоматизированная интеллектуальная система подготовки образцов. Эта система обеспечивает динамическое управление нагрузкой интеллектуальных пневматических приспособлений Logitech и обеспечивает быстрые, надежные и высокоточные результаты в широком спектре полупроводниковых приложений.

* Автоматизация значительно сокращает время настройки и очистки, в то время как интегрированное программное обеспечение обеспечивает удобную для пользователя платформу с точными и контролируемыми функциями обработки. Интеллектуальные пневматические приспособления Logitech используют давление воздуха для давления зажима до 40 кг и могут достигать скорости вращения до 100 об / мин, обеспечивая отличный эффект загрузки образца на протяжении всего процесса. Эти функции отвечают потребностям даже самых требовательных приложений.

Есть два варианта конфигурации: тип DL81 с одной рабочей станцией; Модель DL82 оснащена двумя рабочими станциями. Независимая система, оснащенная пластинами диаметром 600 / 700 мм. Может одновременно работать до двух прецизионных пневматических приспособлений для обработки больших отдельных образцов или более мелких образцов. Максимальный размер фиксированного образца зажима может достигать 8 дюймов / 200 мм, а максимальный размер свободно измельченного образца - 12 дюймов / 300 мм.

Электрические шлифовальные приспособления, которые обеспечивают высокую геометрическую точность и поддерживают стабильное вращение образца на протяжении всего процесса, обеспечивают отличную и повторяющуюся однородность кристаллической окружности.

Прецизионный пневматический зажим имеет интегрированную систему калибровки давления под патроном и автоматический подъемный рычаг зажима, который может быть установлен и поднят с пластины и перевернут, чтобы держать патрон вверх, чтобы оператор мог обрабатывать образец. Это приспособление может быть запрограммировано на автоматический подъем при достижении целевого удаления, что позволяет автоматизировать работу и предотвратить чрезмерную обработку. Коэффициент удаления материала (MRR) может контролироваться и контролироваться до микронного уровня точности. Монитор толщины исходной пластины будет оценивать и контролировать состояние пластины. В процессе обработки. международно признанный протокол EtherCAT используется для обеспечения связи с основными драйверами для определения параметров, полезных для мониторинга и диагностики машин, в то время как промышленный транспортный маяк обеспечивает предупреждение о состоянии машин. Может вместить до четырех цилиндров для многоэтапной обработки. Увеличение емкости цилиндров до 3,8 л означает более длительный и непрерывный процесс обработки, который может быть использован для шлифования и полировки суспензии. Блок подачи абразива, измеряемый ползучим насосом, позволяет оператору устанавливать расход от 5 до 100 мл в минуту. Это значительно повышает качество и точность результатов, одновременно сокращая отходы и эксплуатационные расходы. СистемадаЗакрытые и герметичные, с выпускными отверстиями (диаметром 150 мм) позволяют устанавливать экстракционные соединения для обработки опасных материалов, таких как арсенид галлия (GaAs) или фосфид индия (InP). Оснащен ремонтными кранами для безопасной и легкой обработки шлифовальных и полировочных панелей. Он может быть поднят с земли на рабочую зону с максимальной подъемной массой до 200 кг и расстоянием вытяжки 380 мм. Параметры процесса анализируются и контролируются в режиме реального времени через графический пользовательский интерфейс системы (GUI), включая подачу абразива. Пользовательский интерфейс с 15 - дюймовым дисплеем и сенсорным экраном. Этот режим позволяет операторам создавать, сохранять и вызывать многоступенчатые технологические формулы, гарантируя, что каждый технологический процесс повторяется даже при различных операциях оператора. Интегрированная система Logiwaste позволяет эффективно обрабатывать грязевые отходы. Тяжелый отстойник герметично соединен с капающим сосудом, чтобы предотвратить утечку газа, и соединен таким образом, чтобы его можно было легко разобрать и удалить для обработки. Тяжелый отстойник соединен с промежуточным отстойником и резервуаром для жидкостей.