Анализатор металлического состава ROHS

　　Анализатор металлического состава ROHS(SXES: Soft X - Ray Emission Spectrometer) Высокое энергетическое разрешение достигается за счет комбинации недавно разработанных дифракционных растров и высокочувствительных рентгеновских CCD - камер.

Как и EDS, он может быть обнаружен параллельно и может анализироваться с высоким энергетическим разрешением 0,3eV (эталон Al - L на краю Ферми), превосходящим энергетическое разрешение WDS.

　　Анализатор металлического состава ROHSОписание системы: Недавно разработанная спектроскопическая система позволяет получать спектрограммы различных энергий одновременно без перемещения дифракционной решетки или детектора (CCD). Кроме того, благодаря высокому разрешению энергии, можно собирать профили для анализа состояния.

Сравнение спектральных карт образцов нитрида титана в различных спектральных методах SXES, WDS и EDS

Даже при анализе WDS спектральные пики нитрида титана перекрываются и требуют математического подхода к свертыванию. Как показано на рисунке ниже, SXES имеет высокое энергетическое разрешение.

　　Таблица сравнения

характеристика	ССЭС	EPMA(WDS)	ЭДС
разрешение	0,3 ЭВ (Эль - Л на краю Ферми)	8 ЭВ ( FWHM@Fe-K ）	120-130 ЭВ ( FWHM@Mn-K ）
Анализ состояния химической связи	можно	Можно (в основном легкие элементы)	нельзя
Параллельное обнаружение	можно	нельзя (Но спектрометрический диапазон достаточно)	можно
Спектральные кристаллы и детекторы	Дифракционная решетка + CCD	спектральный кристалл + пропорциональный счётчик	SDD
охлаждение детектора	охлаждение Пельтье	не нужно	охлаждение Пельтье
Предел обнаружения (в качестве исходного значения)	20 ppm	100 ppm	5000ppm

Пример анализа литий - ионной вторичной батареи (LIB)

Можно наблюдать зарядку LIB.

　　Спектроскопия заполненных электрическим током образцов Li - K

Пояснение: обнаружение оксида лития затруднено по теоретическим причинам

Примеры испытаний легких элементов

SXES Примеры испытаний углеродных соединений

Можно проверить различные алмазы, графит, полимеры.

Примеры испытаний различных соединений азота азот также может анализировать состояние химической связи в зависимости от формы волны. Нитраты и нитриды имеют разные формы волн, а аммониевые соли, уязвимые для повреждения электронным пучком, также наблюдаются.