Спектральный эллипсометр SE - VF

I. ОБЩИЙ ОБЗОР

SE-мЭто специальный спектральный эллипсометр для измерения микрографических структур, разработанный для полупроводниковой промышленности,Его использование1 Методы обнаружения и измерения микроскопических пятен， 2 Настройка сверхбыстрых измерений скоростиРавные технологии.Можно применять прозрачностьИзмерения n / k / d на анти - мембранах, проводящих мембранах и других пленках на различных подложках подходят для анализа различных оптических параметров микросхемы.

II. Особенности функций

• Возможность настройки размеров светового пятна до 30um;

• сверхбыстрые измерения, время одного измерения менее 0,5 секунды;

· Гибкая конфигурация серии, поддержка функционального индивидуального дизайна;

•Компактная структура, более адаптируемая к онлайн - интегрированным измерениямА.

III. Примеры измерений

Измерение микрографической структуры

IV. Сценарии применения

Применяется для измерения оптических констант, подходит для различных типов оптических пленок и других приложений для обнаружения покрытия.