Сканирующий / просвечивающий электронный микроскоп

Сканирующий / просвечивающий электронный микроскоп JEOL JSM - 7610FPlus использует полупогруженный объектив и систему освещения High Power Optics для обеспечения стабильного наблюдения и анализа с высоким пространственным разрешением. Кроме того, он обладает высокой способностью к масштабированию с использованием режима GENTLEBEAMTM для наблюдения низкого напряжения ускорения и для удовлетворения различных потребностей, таких как сортировка сигналов r - filter.

　　Jeol JSM - 7610 футов и вышеСканирующий / просвечивающий электронный микроскопИспользование полупогруженных объективов и систем освещения High Power Optics обеспечивает стабильное наблюдение и анализ с высоким пространственным разрешением. Кроме того, он обладает высокой способностью к масштабированию с использованием режима GENTLEBEAMTM для наблюдения низкого напряжения ускорения и для удовлетворения различных потребностей, таких как сортировка сигналов r - filter. Погруженная электронная пушка с полем Шотта может получить в 10 раз больше тока зонда, чем традиционная электронная пушка с полем Шоттки (FEG), а зеркало управления углом диафрагмы (ALC) также может поддерживать небольшие пятна при увеличении тока зонда, которые в совокупности обеспечивают ток зонда более 200 нА. Мощные системы High Power Optics, от изображений с высоким увеличением до анализа EDS и анализа EBSD, могут использовать небольшие объективные диафрагмы с высоким разрешением без необходимости их замены. Зеркало управления углом диафрагмы (ACL) настроено над объективом, автоматически оптимизируя угол диафрагмы объектива во всем диапазоне тока зонда. Таким образом, даже если зонд, облучающий образец, имеет большой ток, по сравнению с традиционным способом можно получить небольшое электронное лучевое пятно.

　　Jeol JSM - 7610 футов и вышеСпецификации сканирующего / просвечивающего электронного микроскопа:

1. Разрешение вторичного электронного изображения: 0,8 нм (напряжение ускорения 15 кВ), 1,0 нм (напряжение ускорения 1 кВ), при анализе 3,0 нм (напряжение ускорения 15 кВ, WD8 мм, ток зонда 5 нА)

2. Ускорительное напряжение: 0,1 - 30 кВ

3. Ток зонда: число pA - 200 nA

4. Электронная пушка: электронная пушка с погруженным полем Шотки

5. Линзовые системы: конденсаторы, зеркала управления углом диафрагмы, полупогруженные объективы

6. Стенд для отбора проб: стенд для отбора проб с круговым угловым измерением, привод двигателя 5 - го вала

Серия электронных детекторов: высокоуровневые детекторы, встроенные R - фильтры, низкоуровневые детекторы

8. Автоматические функции: автоматическая фокусировка, автоматическое рассеивание изображения, автоматическое регулирование яркости / футеровки

9. Для наблюдения за изображениями: жидкокристаллические дисплеи

10. Размер экрана: 23 - дюймовый широкий экран