Синфокальный микроскоп Sensofar

В основе конфокального микроскопа Sensofar лежит принцип общей фокусировки, который позволяет ему достигать продольного разрешения и подавлять рассеяние света. Компания Sensofar смогла точно определить высоту оси Z в каждой точке измерения и в конечном итоге воссоздать истинную трехмерную форму поверхности образца.

Основным позиционированием конфокального микроскопа Sensofar является бесконтактный 3D - оптический контур поверхности. Это не просто микроскоп, а высокоточный измерительный прибор. Его отличительной особенностью является интеграция нескольких оптических методов измерения, которые позволяют пользователям беспрепятственно переключать наиболее подходящие режимы измерения на одном и том же устройстве в соответствии с характеристиками образца для получения точных данных. Новый конфокальный микроскоп Sensofar S neox превосходит существующий 3D - оптический контур с точки зрения производительности, функциональности, эффективности и дизайна и представляет собой новое поколение системы конфокальных микроскопических измерений.

Удивительная скорость измерения.

Удивительная скорость измерения достигается за счет использования новых интеллектуальных и собственных алгоритмов, а также новых камер. Скорость сбора данных составляет 180 fps. Стандартные измерения собираются в пять раз быстрее, чем раньше. Новый конфокальный микроскоп Sensofar S neox стал очень быстрой системой измерения поверхности на рынке.

Легко использовать

Компания Sensofar стремится предоставить своим клиентам самые невероятные возможности. С появлением системы S neox с общей фокусировкой пятого поколения мы стремимся сделать ее простой в использовании, интуитивно понятной и быстрой. Даже новички, просто нажмите, чтобы управлять измерениями. Модульный дизайн программного обеспечения для адаптации системы к разнообразным потребностям пользователей.

Управление качеством

Богатый автоматизированный модуль, удобный для выполнения качества

Количественный контроль. Отчет об анализе может автоматически генерироваться от управления доступом к оператору, хранения измерительных программ, совместимости до считывателей штрих - кодов / QR - кодов и настраиваемых плагинов в нашем проприетарном программном обеспечении SensoPRO. Наши оптимизированные решения могут работать в среде QC с гибким и простым в использовании интерфейсом, программируемым и работающим круглосуточно.

разработка

Тройной подход Sensofar - всего один клик, чтобы система переключилась на режим сканирования, подходящий для текущей задачи измерения. Настройка трех методов измерения в головке датчика S neox - общая фокусировка, интерференция и наложение многофокусных поверхностей AI - все это вносит важный вклад в многофункциональность системы и помогает очень эффективно снижать уровень шума при сборе данных. S neox идеально подходит для всех лабораторных сред и имеет широкий спектр применений.

Ай, мультифокальная суперпозиция!

Активное освещение многофокальной суперпозиции - это оптическая технология, разработанная для измерения формы большой грубой поверхности. Эта технология, основанная на обширном опыте Sensofar в области конфокальных и интерферометрических 3D измерений, специально предназначена для дополнения измерений с низким увеличением. Это было улучшено благодаря использованию активного освещения, которое позволяет получать более надежные измерения даже на оптически гладких поверхностях. Изюминки технологии включают в себя высоконаклонную поверхность (до 86 °), более быструю скорость (mm / s) и измерения в более широком вертикальном диапазоне.

Совокупная фокусировка

Целью разработки конфокального профилографа является измерение высоты поверхности от гладкой поверхности до очень грубой. Общий сфокусированный профиль обеспечивает лучшее поперечное разрешение до 0,14 мкм горизонтального разрешения, а пространственный отбор проб может быть уменьшен до 0,01 мкм, что является идеальным вариантом для измерения ключевых размеров. Объекты до NA (0,95) и увеличения (150X) могут использоваться для измерения гладких поверхностей с локальным наклоном более 70°. Для грубой поверхности допускается 86°. Собственный алгоритм конфокальности обеспечивает вертикальное повторение в наномасштабе.

Вмешательство

Оптическая интерференция - это использование референцного зеркала и двух лучей отраженного света, генерируемых на образце, для создания трехмерной интерферометрической карты (интерферометрической карты), содержащей информацию о форме поверхности образца. Различные изменения в этом подходе могут быть использованы для различных конкретных применений.

Пленка

Методы измерения тонкой пленки быстро, точно и без потерь измеряют толщину оптического прозрачного слоя и не требуют подготовки образцов. Система получает спектр отражения образца в видимом диапазоне и сравнивает его с аналоговым спектром, рассчитанным программным обеспечением, чтобы точно определить соответствующую толщину. Прозрачная пленка размером от 50 нм до 1,5 мкм может быть измерена менее чем за секунду. Измерение пятна зависит от увеличения объектива и варьируется от 0,5 до 40 мкм.

Преимущества светодиодных источников

Использование светодиодов в качестве источника света имеет больше преимуществ, чем использование лазеров. Во - первых, светодиодные источники света могут избежать рассеивания лазерных источников света. Во - вторых, светодиодные источники имеют срок службы около 50 000 часов (примерно в 25 раз больше, чем лазеры). Самое главное, что несколько светодиодов означают, что длина волны может быть выбрана для измерения в соответствии с требованиями образца.

Каждый SNEOX предназначен для точного и отслеживаемого измерения. Наши устройства корректируются с помощью отслеживаемых стандартных блоков, соответствующих стандартам Part 700 и Part 600 ISO 25178. Все показатели, включая высоту и горизонтальную точность, отклонение плоскости, разрешение системы и т. Д. Получены путем измерения таких стандартных блоков. Мы настаиваем на том, чтобы все измерительные приборы выполнялись в соответствии с этим стандартом.

До выпуска SNEOX производится коррекция с использованием измеренных, отслеживаемых стандартных блоков и подтверждения соответствия стандарту. В то же время SENSOFAR сопровождает устройство отчетами о точности измерений и повторяемости.

Стандарты ISO

Высокое разрешение

Вертикальное разрешение ограничено шумом прибора, который фиксирован для интерферометрических измерений, но с общей фокусировкой зависит от числовой апертуры. Собственный алгоритм Sensofar обеспечивает нано - уровневый системный шум для методов измерения с улучшенным поперечным разрешением оптических приборов. Представленная форма представляет собой субнанометровый (0,3 нм) атомный слой. Предоставляется PTB.

DIC наблюдение

Дифференциальная интерференция (DIC) используется для выделения очень небольших высотных характеристик, которые не имеют контрастности в нормальных наблюдениях. Используя призму Nomarski, создаются интерференционные изображения, которые решают субнанометровые структуры, невидимые в поле зрения или на изображениях с общей фокусировкой.

Программная система Sensoafar Sneox SENSOSCAN

Система наведения

SensoSCAN

Программное обеспечение управляет системой через четкий, интуитивный и удобный для пользователя интерфейс.

Пользователей будут направлять на просмотр 3D - среды, чтобы получить хороший пользовательский опыт.

Выборочная навигация

Инструменты обзора помогают пользователям проверять образцы во время подготовки к измерениям, проверять местоположение измерений до их сбора и автоматизировать процедуры. Дайте вам время контролировать ход тестирования и упростите измерения с высоким увеличением.

Автоматические 3D функции.

Выберите 3D автоматические функции, программное обеспечение SensosCAN

Будет автоматически определяться правильное освещение и правильный диапазон измерений,

Затем выполняется выбранный тип измерения. Таким образом, вы можете получить качественный результат за считанные секунды.

Анализ и отчетность

Можно также создавать аналитические шаблоны для применения заданных фильтров и конфигураций оператора к повторяющимся измерениям.

Наконец, для каждого измерения создается четкий и хорошо структурированный отчет, включающий 3D - данные, 2D - профиль и все параметры ISO.

Модуль автоматизации

Автоматические измерительные модули облегчают клиентам выполнение пользовательского программирования, достижение целей управления качеством и тестирования. Установите вручную координаты точки измерения или импортируйте файл координат, установите программу измерения для каждой координаты или партии, затем установите точку автоматического распознавания изображений, а затем окончательно определите диапазон допусков и формат вывода отчета, чтобы завершить всю работу по программированию.

Многоточечные программные измерения

Компания SNEOX разработала совершенно новый подход к программированию. То есть, автоматически идентифицируя одну и ту же структуру или тип продукта, программа копирует биты и программы точки измерения в одном и том же месте. Это значительно повысит эффективность программирования и сэкономит время на программирование.

Автоматическое распознавание контрастных точек

Автоматическое распознавание контрастных точек с помощью изображений и автоматическая коррекция местоположения обеспечивают полностью автоматизированные измерения без вмешательства человека. Преобразование оригинального настольного компьютера с ручной выборкой в полуавтоматическое контрольное устройство, которое может автоматически измерять и предоставлять отчеты только после ручной загрузки. Функция автоматического распознавания точек контраста также является способностью, необходимой для автономного устройства отбора проб для продвижения в Индустрию 4.0.

Максимально достижимый

500 МПкс

Расширенный измерительный модуль

Расширенный измерительный модуль SensosCAN позволяет пользователям легко определять макет измерений на поверхности с помощью обзорных изображений. Измеренные области могут быть автоматически обрезаны на требуемые прямоугольные, круглые или кольцевые области. Применяется для измерения больших площадей до 500 миллионов пикселей. Предлагается несколько стратегий сканирования, таких как автоматическая фокусировка каждого поля зрения или фокусирование отслеживания, чтобы минимизировать вертикальный диапазон сканирования.

Мощное аналитическое программное обеспечение

Интерактивные 3D и 2D - представления предлагают множество вариантов масштабирования, отображения и рендеринга. Предоставляет полный набор инструментов для предварительного осмотра и анализа измерений 3D или 2D. Измеряют критические размеры, угол, расстояние, диаметр, а также выделяют характеристики с помощью новых инструментов аннотации.

Быстрый контроль качества

Быстрый контроль качества на производственных линиях никогда не казался таким простым. Благодаря SensoPRO оператору производственной линии просто нужно загрузить образец и следовать инструкциям. Алгоритмы анализа данных на основе плагинов обеспечивают высокую степень гибкости. Новые модули легко настраиваются для удовлетворения потребностей других отраслей.

Расширенное аналитическое программное обеспечение

SensoMAP - это мощный инструмент анализа и отчетности, основанный на технологии Mountains Digital Surf. Программное обеспечение SensoMAP было модульным для удовлетворения потребностей клиентов. SensoMAP предлагает два уровня (стандартные и продвинутые) и несколько модулей (модули 2D, 3D или 4D, расширенные контуры, частицы и частицы, статистика и сращивание).