Специальные газовые камеры Лаборатория управления различными газами

Электронная система специальных газопроводов, сокращенно Специальная газопроводная система состоит из четырех классов хранения, транспортировки, распределения, управления, из которых « хранение» относится к части источника газа (Специальные газовые камерыGC）， "Транспортировка" относится к распределительной части (как правило, с двумя обсадными трубами), "распределение" относится к вторичной распределительной части (газовый распределительный шкаф VMB), "управление" относится к контрольно - надзорной части (система управления газом GMS). Это газопроводная система, широко используемая в микроэлектронике, такой как полупроводники, интегральные схемы, оптическое волокно и солнечные батареи.

Автоматическая (Специальные газовые камерыВ соответствии с функциональной конструкцией можно разделить на один баллон, два баллона, три баллона.

Конструкция одной стали обычно используется в исследовательских институтах или лабораториях. Технологический процесс еще не имеет массового производства, использование газа невелико, место может координировать остановку в любое время для замены стальных баллонов, преимущества экономии пространства, низкая стоимость, но через ежедневное управление и координацию, чтобы избежать прерывания процесса, чтобы вызвать потери.

Двойная сталь и три стали часто используются на заводе массового производства, технологический процесс не допускает простоя, когда одна стальная бутылка используется, другая резервная стальная бутылка будет автоматически преобразована в подачу газа, самая большая разница между этими двумя формами заключается в том, что высокочистый азот в трубе продувки поставляется в баллоне или на конце завода, когда высокочистый азот для продувки унифицирован с заводским концом, все специальные системы подачи газа, независимо от того, совместимы или нет, все подключены к одному и тому же источнику поставок, будут иметь более высокое значение риска; В случае прерывания высокочистого азота центральной системы снабжения и повреждения системы оповещения, когда два несовместимых газа используются для дутья одновременно, в это время, скорее всего, произойдет взрыв, те же свойства могут быть использованы в одной и той же бутылке, чтобы взорвать дополнительные затраты и пространство очень ограничены, это очень хороший способ реагирования.

Шкаф баллона и стойка баллона могут быть оснащены различными конструкциями, такими как внешний источник продувки однотехнологического баллона, внешний источник продувки двухтехнологического баллона, встроенный источник продувки двухтехнологического баллона; Несовместимые газовые баллоны не должны помещаться в один и тот же баллонный шкаф или стойку; Шкаф баллона, стойка баллона должны быть оборудованы рабочей газовой панелью; Потенциал системы должен быть проверен термодинамическими и гидродинамическими расчетами; При закрытии шкафа баллона должно поддерживаться отрицательное давление не менее 100 Па, количество вентиляции в шкафу не должно быть менее 300 раз / ч; самовоспламеняющийся, легковоспламеняющийся, токсичный и коррозионный шкаф баллона должен быть установлен на выходе из вентиляции с фиксированным детектором утечки газа; Толщина стальной пластины корпуса шкафа баллона не должна быть меньше 2,5 мм, и должно быть антикоррозийное покрытие; Дверь шкафа баллона должна иметь функцию автоматического закрытия и должна быть оборудована окном для наблюдения за взрывоопасным стеклом; Конструкция крепежных болтов в цистернах должна соответствовать местным требованиям к прочности сейсмической защиты; Шкафы баллонов, стойки баллонов должны иметь четкие и четкие знаки безопасности; Когда баллонный шкаф размещен в взрывоопасной и пожароопасной среде, его конструкция должна соответствовать соответствующим положениям действующего национального стандарта « Правила проектирования электроустановок в взрывоопасной среде» GB50058.

Это система снабжения, предназначенная для подачи опасных газов, таких как гнилость, токсичность и т. Д., Основной материал выбирает SS316L, основные функции включают автоматическую продувку, автоматическое переключение и автоматическое отключение (когда срабатывает установленный сигнал тревоги). В производственном контексте, особенно в области, связанной с полупроводниками и высокоточными химическими веществами, специальные газы (газ) играют жизненно важную роль в качестве основного материала. Обеспечение стабильной и безопасной подачи этих газов на производственные линии является ключом к поддержанию эффективного производства. Проект специального газопровода является очень опасным проектом, это система подачи газа, которая обеспечивает безопасную и стабильную транспортировку специальных газов с легковоспламеняющимися, взрывоопасными, коррозионными, высокотоксичными и другими свойствами, поэтому для безопасности использования газа при установке специальных газовых систем необходимо строго соблюдать некоторые из этих предписанных стандартов.