спектроскопический интерферометр

ДоговариваемыйОбновление на05/07

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

спектроскопический интерферометр толщины диафрагмы $r $n мгновенное обнаружение изменения толщины мембранной толстой стеклянной пластины в процессе шлифования фундамента WAFER (в среде сильной кислоты) характеристики продукта бесконтактное, неразрушающее оптическое определение толщины мембраны с использованием спектроскопической интерферометрии

Подробности о продукте

спектроскопический интерферометр

Мгновенное обнаружение изменения толщины мембранного стеклянного фундамента WAFER в процессе шлифования (в среде сильной кислоты) характеристики продукта бесконтактное, неразрушающее оптическое обнаружение толщины мембраны с использованием спектроскопической интерферометрии для достижения высокой степени обнаружения воспроизводимости

Особенности продукции

• Бесконтактное, неразрушающее оптическое определение толщины пленки
• Использование спектроскопической интерферометрии для достижения высокой степени обнаружения воспроизведения
• Возможность быстрого мгновенного измельчения
• Обнаружение, которое может проходить через защитную пленку, смотровые окна и другие промежуточные слои
• Может соответствовать длительному рабочему расстоянию и легко устанавливаться на производственных линиях или устройствах
• Небольшие размеры, экономия пространства, простая установка оборудования
• Требования к инициированию внешних сигналов, которые могут быть обнаружены в Интернете
• Использовать индивидуальный аналитический алгоритм, подходящий для определения толщины мембраны.
• Автоматическое картирование распределения толщины мембраны (выбор проекта)

Спецификация

модель	SF-3/200	SF-3/300	SF-3/800	SF-3/1300
размер	123 (Ш) х 224 (Г) х 128 (В) мм
Диапазон измерения толщины кремниевых пластин	6~400 мкм	10~775мкм	20~1000мкм	50~1300мкм
Диапазон толщины смолы	10~1000мкм	20~1500 мкм	40~2000мкм	100~2600мкм
Минимальный цикл отбора проб	5kHz (200μsec)
повторяющаяся точность	Менее 0,01% (* 1)
Измерение диаметра пятна	Фи 20 мкм или более (* 2)
Измерить расстояние	50 、80、120、150 、200mm
источник света	Полупроводниковый источник света (лазерный Class3B)
Методы анализа	Анализ FFT
интерфейс	LAN, порт ввода / вывода
питание	DC24V (электроэнергия AC требует дополнительного приобретения)
Выбор запчастей	Разнообразные испытательные дальнобойные втулки, блок питания (для AC), эталон AL, испытательный оптический детектор, волоконно - оптический очиститель

* 1: Относительное стандартное отклонение первоначального стандартного образца при измерении воздушного зазора около 1000 мкм (n = 20)

* 2: Конструктивные значения при спецификации зонда WD80 мм

Похожий продукт рекомендовать