-
Электронная почта
frank.yang@acuitik.com
-
Телефон
13817395811
-
Адрес
Шанхай Пудун Новый район Xiangke Road 298 4 этаж
Категории продукта
Сучжоуская технологическая компания с ограниченной ответственностью
Технологический интерферометр белого света
ДоговариваемыйОбновление на02/09
- Модель
- Природа производителя
- Производители
- Категория продукта
- Место происхождения
Обзор
NS - 30UV - это отечественный прибор для измерения толщины белой световой интерферометрии, изготовленный компанией Suzhou Qie Technology Co., Ltd. Он может заменить прибор толщины белой световой интерферометрии KLA и использовать принцип оптической интерферометрии для достижения бесконтактного измерения толщины пленки от нано до микрон.
Подробности о продукте
NS - 30UV тонкопленочный толщиномер - это отечественный прибор для измерения толщины белой световой интерферометрии, изготовленный Suzhou Qie Technology Co., Ltd. с использованием принципа оптической интерферометрии для достижения бесконтактного измерения толщины пленки от нано до микрон.
I. Технические параметры:
Основные параметры NS - 30UV
- Диапазон длин волн: 190 - 1700 нм
- Диапазон измерений: 1 нм - 250 мкм
- Точность измерений: 1 нм или 0,2%
- Точность повторения: 0,02 нм
- Время измерения: менее 1 секунды
- Стабильность: 0,05 нм
- Размер пятна: 0,5 мм
2) Типовые характеристики той же серии
II. Принцип работы
NS - 30 использует принцип оптической интерферометрии вертикального падения света в высокостабильном широком диапазоне для измерения толщины, альбедо и преломления прозрачных или полупрозрачных мембран от нано до микрон. Высокоустойчивый широкополосный свет, падающий вертикально, попадает на поверхность образца, создавая оптическую интерференцию между мембранами, а отраженный свет, анализируемый спектром и алгоритмом регрессии, может рассчитать толщину каждого слоя пленки.
III. Особенности продукции
1 Основные преимущества:
- Локализация аппаратного и программного обеспечения: 100% отечественное самоисследование, 100% автономное и контролируемое
- Бесконтактные измерения: измеряемые образцы твердых материалов, мягких материалов или поверхностей, подверженных повреждению
- Высокая точность и высокая стабильность: точность измерения толщины субнанометрового уровня, статическая стабильность до 0,02 нм
- Измерение многослойной мембраны: можно измерить толщину каждого слоя многослойной композитной пленки
- Интеллектуальный алгоритм: основной алгоритм, измерение толщины мембраны большого пролета одним нажатием клавиши
2 Функциональные особенности:
- Автоматическое измерение образцов, размер платформы 100 мм ~ 450 мм необязательно
Программное обеспечение автоматически генерирует распределение точек измерения по требованию
- 2D и 3D - картографические эффекты, содержащие информацию о толщине / преломлении / альбедо
Измеряемое напряжение пленки и изгиб поверхности (Stress / Bow)
- Скорость измерения: 5 точек - 5 секунд (200 мм кристаллическая окружность), 25 точек - 14 секунд
Показать результаты измерений
IV. Области применения
Тонкопленочный толщиномер NS - 30 широко используется в различных высокотехнологичных областях:
- Изготовление полупроводников: измерение толщины осадочных / травильных пленок, определение выравнивания поверхности в процессе CMP, анализ высоты ступеней коррозионного агента
- Фотоэлектрические и дисплеи: толщина пленки солнечного покрытия, микроструктура экрана AMOLED, измерение медного следа сенсорной панели
- Оптическое покрытие: измерение толщины пленки оптических элементов, таких как антиотражающее покрытие AR, антибликовое покрытие AG, фильтры, очки и т.д.
- Электроника и материаловедение: измерение толщины пленки полупроводниковых чипов, жидкокристаллических дисплеев и других устройств, анализ поверхностных напряжений материала
- Биомедицинская экспертиза: определение толщины тонкопленочных материалов, таких как Parylene Perrelin, полимеры, биопленки, медицинское оборудование и т.д.
2. Техническое обслуживание:
- Поддержание чистоты машины, покрытие пылезащитной тканью в непроверенное время
- Избегать электромагнитных магнитных помех работе прибора.
- Регулярная калибровка и техническое обслуживание
Серия NS - 30, как настольная автоматическая система измерения толщины мембраны и анализа, накладывает автоматический измерительный стенд на основе измерения толщины мембраны, может автоматически измерять заданные точки и дополнительно генерировать карты распределения данных 2D и 3D, особенно для сложных сценариев применения, таких как измерение толщины мембраны.
Похожий продукт рекомендовать
