зонально - технический конденсаторный мембранный вакуумметр

зонально - технический конденсаторный мембранный вакуумметр(Высокотемпературный тип)

высокотемпературный конденсаторный металлический тонкопленочный вакуумметр с использованием односторонней двухэлектродной дифференциальной конденсаторной конструкции, все материалы, подверженные воздействию технологического газаИнконель / ИнколойСплавы, сверхчувствительные фронтальные схемы и * алгоритмы обеспечивают высокую чувствительность и точность измерения при рабочем давлении, быстрый ответ, стабильную производительность, сильную коррозионную стойкость, обеспечивают150℃до200℃Две высокотемпературные версии значительно улучшили воздействие осадочного материала на конденсаторные мембраны, обеспечивая1 тодоТысячаПолная шкала, отличная производительность, подходит для жестких полупроводников、плазмаиОчистка материалов высокого риска и т.д.Область, даИдеальный выбор для точного измерения и контроля общего давления.

преимущество

1.высокотемпературный тонкопленочный дифференциальный конденсаторный датчик

лвысокая чувствительность

лВысокая точность и повторяемость

лДолгосрочная стабильность высокая

2.Все датчики прочны и коррозионностойки.Инконель合金

лНе зависит от газа, результаты измерений не зависят от состава газа

лРазрешается использовать с коррозионными или грязными газами.

лВакуумметрические материалы не загрязняют процесс

3.Богатый выходной сигнал

лПростая интеграция, богатый интерфейс для удовлетворения различных потребностей системной интеграции

лНезависимыйТип СДиагностика, отладка, настройка интерфейса

4.Функция вывода неисправностей/Выходная функция нажатия

лВыход через реле: термостат и неисправность оборудования/сигнал срабатывания давления

зонально - технический конденсаторный мембранный вакуумметр(Высокотемпературный тип)

технические параметры

показатель	Технические параметры
Полная шкала	1 Torr, 10 Torr, 100 Torr, 1000 TorrА,定制
точность	Показания ± 0,5%
разрешение	0,001%ФС
Рекомендуемый диапазон показаний	0.005В до 10V@FS
Рекомендуется контролировать диапазон давления	0,05 В до 10V@FS
Параметры внутренней температуры устройства	150℃，200℃
Время разогрева	Четыре часа.
температура окружающей среды	От 15 до 1550℃
Функция запуска	Альтернативный, двухканальный одноножевой двухпозиционный переключатель, распределение может быть установлено0.1% ~ 100% FS Произвольное давление, емкость реле 0.6A@30VDC
Функция вывода неисправностей	Альтернативный выход термостатических неисправностей и неисправностей оборудования через реле
вывод	0 - 10VDC аналоговый выход, > 10K Ом; Выход RS422 (необязательно RS485)
Электрический соединитель	D-Sub， 15 шт., игольчатая розетка; M8 - разъем, 5 - штыковая, конденсаторная розетка
входное питание	± 15VDC (±5%), 24VDC (±5%) или 20 ~ 26VDC; Пик50W@150℃，70В@200℃
Ограничение избыточного давления	45Псиа
Материалы, подвергшиеся воздействию технологических газов	Входная трубка дляМатериал 316L, остальные - сплавы Inconel и Incoloy
Время отклика датчика	50 миллисекунд.
Направление калибровки	Вертикальная калибровка по умолчанию
Внутренний объем	5.1ml (без входного интерфейса)

Ханчжоуская региональная технологическая компания с ограниченной ответственностьюСосредоточьтесь на предоставлении технических услуг и решений, связанных с потоком, давлением, вакуумным обнаружением и контролем для промышленных и научных клиентов, агент компании продает в СШАALICAT、 Такие бренды, как Vogtlin в Швейцарии, MKS в США и EBARA в Японии, предоставляют клиентам высококачественные решения для мониторинга трафика и давления в сочетании с продуктами агентства, которые направлены на повышение эффективности исследований и разработок и производства клиентов, улучшение производственных процессов клиентов и продвижение исследований и инноваций клиентов.