-
Электронная почта
inquire-china_lsca@agilent.com
- Телефон
-
Адрес
3 - я улица Ваньцзинбэй, район Чаоян, Пекин
Agilent Technologies (China) Co., Ltd
спектрофотометр Agilent: « Оптический движок» для проверки характеристик оптических элементов
Дата:2025-10-29Читать:0
По мере того, как передовые технологические узлы продолжают продвигаться вперед, положение 193 - нм лазерной литографии ArF в производстве полупроводников становится все более важным. Его внутренняя часть содержит большое количество высокоточных оптических элементов, таких как проекционные линзы, шаблоны маскировки, поляризаторы, дефлекторы, зеркала и т. Д., Оптические характеристики этих компонентов напрямую определяют разрешение, однородность и хорошую скорость рисунка чипа.
Как точно оценить проницаемость, альбедо, поляризационную реакцию и угловую зависимость этих компонентов в процессе исследований и разработок и массового производства?Ультрафиолетовые спектрофотометры видимой ближней инфракрасной области спектра Agilent серии Cary4000 / 5000 / 6000i / 7000 идеально подходят для решения этой задачи.
Ниже приведены общие оптические элементы в фотолитографии и их требования к тестированию:
Тесты на проницаемость линз, окон, масок и т.д.
Испытание отражателя на 45°
Тест на отношение экстинкции поляризатора к дефлектору
Эти тестовые проекты и требования предъявляют более высокие требования к возможности тестирования спектрофотометра, сложность тестирования в основном отражается в:
193 нм относится к области глубокого ультрафиолетового излучения (DUV), где небольшие изменения окружающей среды и загрязнение проб влияют на поглощение света в этом диапазоне, поэтому процесс тестирования предъявляет более высокие требования к стабильности оборудования.
Небольшие ошибки в таких индикаторах, как проницаемость, альбедо, коэффициент экстинкции фотолитографных элементов, могут привести к искажению рисунка или технологическому сбою, поэтому предъявляются более высокие требования к точности и повторяемости контрольного оборудования.
Тестирование под большим углом 193 нм требует введения поляризатора, но поляризационный материал в этом диапазоне является дорогостоящим, сложным и загрязненным.
В ультрафиолетовом диапазоне Agilen Cary4000 / 5000 / 6000i / 7000 используются источники света от дейтериевых ламп, которые покрывают диапазон длин волн до 175 нм и оснащены детекторами фотоумножителя (PMT), обеспечивающими сверхвысокую чувствительность в низких диапазонах; В то же время прибор использует двухлучевую конструкцию, которая может корректировать колебания источника света и помехи окружающей среды в режиме реального времени, эффективно улучшая повторяемость и точность испытаний; Кроме того, пользователи могут настроить аксессуары с глубокой ультрафиолетовой поляризацией в сочетании с приложениями с UMA - аксессуарами для достижения измерения отражения и измерения отношения затухания при поляризации s / p под большим углом.
Рисунок слева: Angelen Cary4000 / 5000 / 6000i / 7000
Справа: Angelen Cary7000
Испытательная мощность спектрофотометра Agilent Cary серии в ультрафиолетовом видимом ближнем инфракрасном диапазоне:
Хост - тест кварцевые пластины: 190 - 270 нм, скорость пропускания 0°, 10 повторных измерений.
Десять тестов на 193 нм с максимальным - минимальным отклонением 0,02% Т.
Тест на кварцевую пластину с пропускной способностью 0 ° 10 повторяющихся результатов
Полностью автоматическая многоугольная проницаемость и абсолютное отражение (UMA) аксессуары с индивидуальным ультрафиолетовым поляризатором для тестирования алюминиевых зеркал: 190 - 380 нм, 45° абсолютное отражение.
Под большим углом Rp и Rs имеют хорошее соотношение сигнала и шума на 193 нм.
Результаты испытаний аксессуаров UMA на абсолютное отражение 45° алюминиевых зеркал
Сегодня, когда передовые процессы продолжают развиваться, эксплуатационные испытания оптических компонентов перешли от « опциональных» к « ключевым звенам».Серия спектрофотометров Angelen Cary4000 / 5000 / 6000i / 7000, с его высокой точностью, высокой эффективностью, полнофункциональными характеристиками, поддерживает разработку фоторезиста, выбор оптических компонентов, оценку старения материала, проверку соответствия покрытия и другие аспекты применения, в процессе играет важную роль в высокоточном измерении и анализе, чтобы помочь инженерам быстро определить проблемы, оптимизировать процесс, улучшить скорость, помочь процессу литографии перейти на более высокий уровень.По мере того, как технологии производства полупроводников продолжают развиваться, спрос на измерения и анализ оптических компонентов будет становиться все более сложным, и серия Angelen Cary будет продолжать обеспечивать надежную техническую поддержку этого процесса.