1. Утечка вакуума
Явление: вакуум не может достичь заданного значения или продолжать снижаться.
Причины:
Кольцо уплотнения стареет, трескается или неправильно устанавливается.
Соединение трубопроводов ослаблено или имеются небольшие трещины.
Стены вакуумной камеры имеют иголки или дефекты сварки.
Решение:
Регулярно проверяйте уплотнительное кольцо и заменяйте его каждые 6 - 12 месяцев.
Для определения точки утечки используется гелиевый масс - спектрометр, который требует повторного обнаружения после ремонта.
Давление в вакуумной камере.
2. Выпадение мембраны
Явление: мембрана после покрытия отделяется от фундамента или отслаивается.
Причины:
Загрязнение поверхностей фундамента (загрязнение нефтью, водяным паром, пылью).
Перед нанесением покрытия не была проведена полная обжарка.
Диафрагма перегружена.
Решение:
Усиление очистки фундамента.
Установка ионных источников для очистки перед нанесением покрытия.
Оптимизация технологических параметров.
3. Вакуумный насос не запускается
Явление: После нажатия кнопки запуска корпус насоса не реагирует.
Причины:
Отказ питания (нестабильное напряжение, короткое замыкание линии).
Повреждение двигателя или срабатывание системы защиты от перегрева.
Загрязнение или недостаточное количество масла в насосах.
Решение:
Проверьте линии электропитания и стабильность напряжения.
Замена двигателя или ожидание перезагрузки корпуса насоса после охлаждения.
Регулярно заменяйте вакуумное масло, сохраняя уровень масла выше шкалы.
4.Внезапное снижение вакуума
Явление: внезапное падение вакуума в эксплуатации, неспособность поддерживать технологические требования.
Причины:
Отказ насоса.
Загрязнение вакуумных помещений.
Недостаточный расход охлаждающей воды приводит к перегреву корпуса насоса.
Решение:
Ежегодно промывают диффузионные насосы и заменяют специальное масло.
定期清理真空室。
Проверьте контур охлаждающей воды, чтобы убедиться, что расход ≥5L / мин.
5. Неравномерность осадочного материала
Явление: неравномерное распределение толщины или компонентов мембраны по фундаменту.
Причины:
Смещение источника осадков или нестабильная скорость вращения тигеля.
Фундамент не фиксирован или не защищен.
Помехи магнитного / электрического поля приводят к отклонению потока пучка.
Решение:
Корректировка местоположения источника осадков для обеспечения выравнивания с центром фундамента.
Используйте рабочее приспособление для фиксации фундамента, чтобы избежать затенения.
Проверьте параметры электромагнитной катушки и оптимизируйте траекторию потока пучка.
6. Отказ от контроля толщины пленки
Явление: фактическая толщина мембраны отклоняется от заданного значения более ±5%.
Причины:
Ошибка калибровки кристаллического регулятора (мембранного толщиномера).
Зонд смещен или загрязнен.
Колебания технологических параметров (например, нестабильная скорость испарения).
Решение:
Ежеквартально проводится калибровка кристаллического контроллера с использованием стандартной толщины пленки.
Очистите поверхность зонда, отрегулируйте до 5 - 10 см от основания.
Стабилизация напряжения питания, чтобы избежать изменения параметров во время испарения.
Загрязнение газом приводит к снижению мембраны
Явление: в диафрагме появляются игольчатые отверстия, пятна цвета или снижение сцепления.
Причины:
Вакуумная камера непроницаемый - донный выхлоп (остаточный водяной пар, кислород).
Воздух просачивается во время нанесения покрытия.
Пленка всасывает влагу или содержит примеси.
Решение:
Перед нанесением покрытия вакуум накачивается до 5×10⁻Па и выпекается и дегазируется.
Проверьте все герметичные интерфейсы и замените стареющие уплотнения.
Перед использованием мембраны необходимо предварительно расплавить и дегазировать в вакуумной камере.
8. Отказ системы отопления
Явление: температура фундамента не может достичь заданного значения или колеблется слишком сильно.
Причины:
Тепловые элементы отключены или плохо контактируют.
Параметры PID термостата установлены неправильно.
Расположение термопары смещено или повреждено.
Решение:
Проверьте соединение нагревательной проволоки и замените выключатель.
Изменить параметры термостата.
Настройка термопары к центру основания, калибровка раз в год.
9. Отказ электронной системы управления
Явление: Панель управления не отвечает или параметры отображают аномалии.
Причины:
Контрольная панель мокрая или пылевая.
Подключения датчиков ослаблены или повреждены.
Программные сбои.
Решение:
Регулярно чистите шкаф управления сухим сжатым воздухом.
Проверьте линии датчиков и замените неисправные элементы.
Перезагрузить систему или переустановить программное обеспечение управления.
10. Аномальная система накаливания / пучка
Явление: выход без пучка или большие колебания пучка.
Причины:
Лампы сгорают или стареют.
Ограничитель пучка не вернулся к нулю или потенциометр вышел из строя.
Защитный экран высоковольтного электрода короткое замыкание.
Решение:
Замените новую нить накаливания и убедитесь, что при установке положение находится посередине.
После предварительного расплавления ограничитель пучка сводится к нулю и запускается снова.
Проверьте изоляцию защитного кожуха и очистите точку короткого замыкания.