Ниже приводится руководство по обслуживанию радиочастотного магнитного распылителя:

1. Техническое обслуживание вакуумных систем

Проверьте работоспособность вакуумного насоса: регулярно проверяйте рабочее состояние вакуумного насоса, в том числе, является ли уровень масла нормальным. Если обнаруживается недостаточное количество масла или плохое качество масла (например, темный цвет, мутность и т. Д.), необходимо своевременно заправить новое масло или заменить стареющее насосное масло. В то же время, обратите внимание, есть ли аномальный звук или вибрация вакуумного насоса во время работы, и в случае его появления необходимо немедленно остановиться, чтобы проверить и устранить неисправность.

Очистка фильтрующих сеток и трубопроводов: Чтобы предотвратить засорение, влияющее на эффективность откачки, необходимо регулярно очищать фильтрующие сетки вакуумных насосов, а также засорение и пыль в соединительных трубопроводах. Это помогает поддерживать хороший вакуумный эффект извлечения, обеспечивая чистоту среды покрытия.

Проверка герметичности: регулярно проверяйте герметичность вакуумной камеры, чтобы убедиться, что нет утечки. Проверка на герметичность может быть проведена, например, путем наблюдения за стабильностью показаний вакуумметра после закрытия всех клапанов. Для обнаруженных точек утечки воздуха необходимо принять своевременные меры для ремонта, такие как замена поврежденного уплотнительного кольца и так далее.

Техническое обслуживание источника испарения и источника распыления

Проверьте рабочее состояние компонентов: регулярно проверяйте ключевые компоненты, такие как нагревательные элементы, мишени и системы охлаждения источника испарения и источника распыления. Проверьте, не поврежден ли нагревательный элемент, можно ли нормально нагреваться; Имеет ли мишень износ, трещины и т.д. Нормально ли работают насосы, радиаторы и т.д. системы охлаждения. Для поврежденных или сильно стареющих компонентов необходимо своевременно заменить, чтобы обеспечить нормальную работу оборудования.

Очистка окружающих примесей: своевременное удаление примесей и остатков вокруг источников испарения и распыления, чтобы избежать их смешивания с пленкой, что влияет на скорость роста и качество пленки. Для вытирания и очистки можно использовать чистую тряпку или специальные инструменты.

3. Техническое обслуживание систем управления

Проверка точности датчика: регулярная калибровка различных датчиков в системе управления, таких как датчики температуры, датчики давления и т. Д. Для обеспечения точности и чувствительности их измерительных данных. Неточные датчики могут привести к неконтролируемым технологическим параметрам, что, в свою очередь, повлияет на эффект покрытия.

Проверьте ответ исполнителя: проверьте скорость и точность ответа исполнителя на соответствие требованиям, чтобы убедиться, что он может точно выполнять инструкции управления. Например, проверьте, может ли клапан, приводимый в движение двигателем, быстро и точно открываться или закрываться в указанном месте.

Программа резервного копирования данных: для предотвращения потери данных или повреждения программы данные и программы системы управления должны регулярно дублироваться. Это позволяет быстро восстановить нормальную настройку и режим работы устройства в случае возникновения чрезвычайной ситуации.

4. Техническое обслуживание системы охлаждения радиочастотного магнитного распыления

Мониторинг работы насоса: убедитесь, что насос системы охлаждения работает нормально и имеет достаточный расход воды через каждый радиатор. Если насос выходит из строя, это может привести к перегреву оборудования и повреждению других ключевых компонентов.

Очистка грязи радиатора: Регулярно очищайте поверхность радиатора от примесей и грязи, повышая эффективность охлаждения. В то же время, также проверьте, есть ли в трубопроводе закупорка, чтобы убедиться, что охлаждающая жидкость может плавно циркулировать.

Замена охлаждающей жидкости: обращайте внимание на качество охлаждающей жидкости и изменение уровня воды, своевременно заменяйте стареющую охлаждающую жидкость и пополняйте достаточное количество новой охлаждающей жидкости. Некачественное или недостаточное количество охлаждающей жидкости может повлиять на эффект охлаждения и увеличить риск отказа оборудования.

5. Техническое обслуживание системы впуска

Обеспечить стабильность чистоты газа: регулярно проверять чистоту и стабильность источника газа, чтобы предотвратить попадание примесей внутрь оборудования. Нечистые реакционные газы могут плохо реагировать с покрытием, что снижает качество пленки.

Калибровка расходомерного манометра: постоянная проверка точности и стабильности расходомера и манометра системы впуска для обеспечения точного контроля потока и давления реакционного газа. Это имеет решающее значение для получения идеальной тонкопленочной структуры и производительности.

Очистка трубопроводных клапанов: регулярная очистка трубопроводов и клапанов системы впуска для предотвращения засорения и утечки из - за пыли, загрязнения нефтью и т. Д. Поддержание беспрепятственного доступа к системе впуска способствует поддержанию стабильной технологической среды.

6. Техническое обслуживание основной пластины радиочастотного прибора с магнитным распылением

Стабильность крепежного приспособления: проверьте прочность и надежность приспособления в устройстве крепления фундамента, чтобы убедиться, что фундамент не ослабевает или не выпадает во время покрытия. Слабое основание может привести к неравномерной толщине пленки или снижению сцепления.

Регулируйте плавную смазку направляющей: посмотрите на выравнивание и смазку направляющей, при необходимости отрегулируйте и добавьте смазку, чтобы гарантировать плавное движение основной пластины. Неравномерные или недостаточно смазанные направляющие увеличивают сопротивление движению фундамента и влияют на однородность покрытия.

Проверьте точность привода двигателя: регулярно проверяйте рабочее состояние двигателя и точность приводного механизма, чтобы убедиться, что траектория движения фундамента точна. Точный контроль движения является одной из важных гарантий достижения высококачественного покрытия.