Высоквакуумный тепловой испарительный карбюратор имеет два основных режима работы непрерывного испарения и импульсного испарения, его конструкция удовлетворяет различные технологические потребности посредством точного управления процессом испарения, как указано ниже:

I. Режим непрерывного испарения высоковакуумным тепловым испарителем

1. Принцип:

Источники углерода (например, высокочистое углеродное волокно или углеродные стержни) нагреваются при постоянной мощности, чтобы они продолжали плавиться и стабильно испарялись, образуя равномерный поток пара в вакуумной камере. Атомы или молекулы газообразного углерода распространяются линейным движением на поверхность фундамента и конденсируются слоями в плотные твердые пленки. Режим основан на замкнутой системе управления температурой для поддержания постоянной скорости испарения, а колебания мощности контролируются в пределах ±1%.

2. Особенности:

Высокоэффективные и стабильные: сценарии, подходящие для крупномасштабного покрытия или требующие быстрого образования пленки, такие как подготовка слоя электропроводности образца SEM.

Диафрагма однородная: поток пара продолжает покрывать фундамент, уменьшая локальные различия в толщине, обеспечивая согласованность мембраны.

Упрощение процесса: нет необходимости часто включать и останавливать источник тепла, рабочий процесс более прост.

3. Сценарий применения:

Приготовьте поддерживающие мембраны TEM, несущие сверхтонкие срезы или наночастицы.

Поверхностный анализ используется в качестве защитного или проводящего слоя (например, рентгеновский спектральный анализ EDS).

Потребности в массовом покрытии в промышленности (например, проводящий слой электронных компонентов).

Режим импульсного испарения

1. Принцип:

Использование прерывистого нагрева для управления испарением источника углерода с помощью импульсных сигналов. В течение каждого импульсного цикла источник углерода быстро нагревается до температуры испарения и выделяет газообразные частицы, а затем приостанавливает нагрев, чтобы частицы на поверхности фундамента полностью осаждались. Регулируя отношение частоты импульса к пустоте, точно контролируйте толщину мембраны и размер частиц.

2. Особенности:

Точное регулирование: подходит для подготовки сверхтонкой углеродной пленки или нано - структуры, точность управления толщиной мембраны до наноуровня.

Уменьшение теплового повреждения: прерывистый нагрев снижает повышение температуры фундамента, избегая воздействия высоких температур на чувствительные материалы.

Уточнение частиц: импульсное испарение уменьшает столкновение газообразных частиц, образуя более мелкие частицы мембраны.

3. Сценарий применения:

Оптимизация характеристик поверхности образца в анализе EBSD требует сигнала с высоким разрешением, усиленного углеродной пленкой.

Клеточные образцы в области биомедицины покрыты пленкой, требующей минимизации теплового эффекта.

Оптическое покрытие компонентов (например, антиотражающая пленка) требует точного управления оптическими свойствами мембраны.

III. Основа выбора модели высоковакуумного термопарка карбюратора

1. Требования к толщине мембраны:

Непрерывный режим подходит для подготовки более толстых мембранных слоев (например, уровня мкм) с более высокой эффективностью.

Импульсный режим подходит для сверхтонкой мембраны (например, уровня nm) с лучшей точностью.

2. Характеристики материала фундамента:

Высокотемпературные материалы (например, металлы) могут быть выбраны в непрерывном режиме, сокращая время процесса.

Теплочувствительные материалы (например, полимеры, биологические образцы) требуют импульсного режима, чтобы избежать деформации.

3. Сложность процесса:

Простые задачи покрытия (например, проводящий слой) упрощают работу в непрерывном режиме.

Требования высокой точности (например, наноструктуры) достигаются с помощью импульсного режима для точного управления.

IV. Функции поддержки оборудования для высоковакуумного теплового испарительного карбюратора

1.Вакуумная система: турбомольный молекулярный насос + ротационный насос комбинация, предельный вакуум, рабочий вакуум, чтобы обеспечить процесс испарения без загрязнения.

2. Управление источником испарения: 4 источника испарения из углеродного волокна высокой чистоты могут работать поочередно, автоматически обнаруживая состояние выключения и продлевая срок службы.

3. Управление стендом для отбора проб: Поддержка ручного / автоматического вращения, высокоскоростного / низкоскоростного регулируемого двухступенчатого, для достижения многоугольного равномерного осаждения.

4.Безопасная защита: вакуумная защита, защита от перенапряжения, защита от перенапряжения и т. Д. Предотвращение повреждения оборудования в ненормальных условиях.