Полностью автоматический прибор ионного распыления имеет равномерное покрытие и хорошую электропроводность, благодаря его технологии магнитного распыления, точной системе управления и возможности выбора многоцелевого материала, конкретные преимущества заключаются в следующем:

Технология магнитного распыления обеспечивает однородность покрытия

Оптимизированная конструкция магнитного поля: повышение однородности плотности плазмы путем регулировки формы магнита, расположения или перемещения магнитного поля, сближение скоростей распыления в разных местах мишени, что повышает однородность мембраны. Например, оптимизация расстояния между мишенью и фундаментом позволяет избежать неравномерного накопления распыляемых частиц и обеспечить равномерную толщину пленки.

Динамическое регулирование расстояния между мишенью и базой: эксперименты показали, что по мере увеличения расстояния между мишенью и фундаментом разница толщины мембраны в разных точках фундамента постепенно уменьшается, а однородность значительно повышается. Эта особенность позволяет ионному распылителю адаптироваться к образцам разных размеров и форм для достижения высокоточного покрытия.

3. Совместное управление мощностью распыления и вакуумом: увеличение мощности распыления может расширить площадь блеска мишени и сделать плотность мощности более равномерной; Увеличение вакуума может уменьшить вероятность столкновения атомов распыления с атомами газа в камере и еще больше оптимизировать однородность толщины мембраны. Этот механизм двойного контроля обеспечивает стабильность качества покрытия.

II. Совершенствование электропроводности с помощью системы точного управления полностью автоматическим прибором ионного распыления

Технология управления постоянным потоком: использование высокоточного источника с магнитным управлением постоянным током DC, точность управления до 1 мА, чтобы обеспечить стабильность тока распыления. Этот стабильный выход тока помогает сформировать плотное металлическое покрытие, тем самым улучшая электропроводность образца.

2. Точное регулирование вакуумной среды: Быстрая реализация рабочей вакуумной среды (предельный вакуум < 1Па) с помощью высокопроизводительного спирального вакуумного насоса, оснащенного полноразмерным вакуумметром Пирани для мониторинга вакуума в режиме реального времени. Это точное вакуумное управление может уменьшить влияние примесей на покрытие и улучшить электропроводность.

3. Контроль частиц распыления нанометрового уровня: частицы распыления могут достигать нанометрового уровня (< 5 нм), а подготовленные пленки плотные и однородные. Это нано - покрытие не только обладает отличной электропроводностью, но и отвечает требованиям SEM - наблюдений с высоким разрешением.

Полностью автоматический ионный распылитель с несколькими мишенями для удовлетворения разнообразных потребностей

Поддержка мишеней из драгоценных металлов: ионные распылители поддерживают выбор различных мишеней из драгоценных металлов, таких как золото, платина, серебро и палладий. Эти мишени обладают хорошей электропроводностью и химической стабильностью и могут удовлетворять потребности различных образцов покрытых материалов.

2. Удобность замены мишени: головка мишени состоит из экранирующего кольца, нажимного кольца, мишени, при замене мишени можно легко снять старую мишень и установить новую. Этот удобный способ замены мишеней повышает гибкость и эффективность использования оборудования.

IV. Проверка практического применения полностью автоматического ионного распылителя

Оптимизация наблюдений с помощью сканирующих зеркал: при наблюдениях с помощью сканирующих зеркал (SEM) прибор ионного распыления может обеспечить равномерное и хорошо проводящее покрытие для непроводящих образцов. Это эффективно предотвращает появление заряженного эффекта, делая изображения зеркал более ясными и детальными.

Поддержка изображений с высоким увеличением: для образцов, требующих изображений с высоким увеличением, ионный распылитель обеспечивает тонкий и однородный проводящий металлический слой. Это позволяет осуществлять наблюдения и визуализацию с большим увеличением, а также повышать точность и надежность экспериментов.