Ниже приводится конкретный процесс нанесения проводящей пленки на образец сканирующего зеркала с использованием радиочастотного магнитного распыления:

1. Предварительная подготовка

Выберите подходящую мишень: в зависимости от свойств требуемой пленки, выберите соответствующую мишень, обычно из золота, платины, сплава палладия, серебра, свинца, меди, хрома, сурьмы и так далее. Различные мишени влияют на характеристики конечной проводящей мембраны.

Подготовьте основной материал (образец): убедитесь, что поверхность образца, подлежащая покрытию, чиста и не загрязнена, и при необходимости ее можно предварительно обработать, например, шлифовкой, полировкой или химической очисткой, чтобы обеспечить хорошую адгезию и эффект покрытия.

2. Вакуум в системе радиочастотного магнитного распыления

Запустите устройство, связанное с оборудованием: включите циркулирующую воду, включите общий источник питания, затем запустите "механический насос камеры покрытия" и "механический насос камеры образца", а затем откройте два 35 - угольных клапана до максимального положения. Закройте эти 35 угловых клапанов, когда вакуумметр термопары показывает давление менее 10 Па; После этого откройте « клапан передней ступени камеры покрытия» и « клапан передней ступени камеры проб», запустите молекулярный насос и нажмите зеленую клавишу « запускать». Наконец, откройте задвижку камеры покрытия и камеры проб до полного открытия (поверните против часовой стрелки до конца). Ожидание, когда частота молекулярного насоса достигнет стабильного состояния, например, камера покрытия достигает 400 Гц, камера проб достигает 450 Гц. В это время посмотрите на числовые изменения в вакуумном окне, чтобы продолжить последующие шаги.

Мониторинг вакуума: необходимо внимательно следить за его увеличением на протяжении всего процесса до достижения заданного высокого уровня вакуума. Высокая вакуумная среда помогает уменьшить помехи, создаваемые газообразными примесями в процессе распыления, и обеспечивает качество и чистоту осадочных пленок.

3. Регулирование параметров распыления

Настройка таких параметров, как мощность радиочастоты, рабочее давление воздуха, расход газа и время осаждения: конкретная настройка этих параметров должна определяться целью эксперимента и типом материала, а разумная настройка параметров является ключевым фактором для обеспечения однородности и сцепления пленки. Например, регулируя мощность радиочастот, можно контролировать энергетический размер мишени ионной бомбардировки; Рабочее давление и расход газа влияют на концентрацию и распределение плазмы; Время осаждения определяет толщину пленки.

4. Начало процесса распыления с помощью радиочастотного магнитного опрыскивателя

Предварительное распыление очищает поверхность мишени: после включения радиочастотного источника питания производится предварительное распыление в течение определенного периода времени (например, около 10 минут) с целью очистки поверхности мишени от оксидов или других загрязняющих веществ, которые могут присутствовать, и очистки пленки, полученной в результате последующего официального осаждения.

Формально осажденная пленка: после завершения предварительного распыления включите контрольный источник питания на стенде образца и нажмите кнопку « Пуск», чтобы стол образца начал вращаться. В то же время откройте щит мишени и переключатель щита образца, когда официально начинается распыление покрытия. Во время распыления давление может быть вторично подстроено по мере необходимости, чтобы оно оставалось в заданном диапазоне, чтобы обеспечить стабильность качества пленки.

5. Обработка после (необязательно)

Термическая обработка, лазерная обработка или химическая модификация по мере необходимости: если к осажденной пленке предъявляются особые требования, такие как улучшение кристаллических свойств, улучшение определенных физических свойств и т. Д. Соответствующие процессы переработки могут быть выполнены после завершения распыления. Однако это не является необходимым шагом, и решение о том, следует ли и как это сделать, должно быть принято в соответствии с конкретными потребностями приложения.

6. Завершение работы радиочастотного прибора для покрытия методом магнитного распыления

Закройте устройство: после того, как время покрытия достигает заданного значения, сначала выключите щит (в том числе щит стенда образца и щит мишени), остановите вращение стенда образца и нажмите кнопку « Остановить» стенд образца. Затем выключите ручку мощности контрольной части прибора до минимума, для радиочастотного питания сначала нажмите красный, а затем нажмите желтый, чтобы выключить; Источники постоянного тока выключаются непосредственно красным. Затем отключите источник управления расходом газа Ar, отрегулируйте расход до числа дисплея 0, работая с « управлением клапаном» до состояния « выключения». Наконец, последовательно закрывайте другое соответствующее оборудование и клапаны, чтобы завершить весь процесс покрытия.

7. Извлечение образцов

После подтверждения барометрического равновесия удалите: прежде чем закрыть все оборудование и восстановить атмосферное давление, убедитесь, что давление в камере покрытия соответствует давлению в камере для отбора проб (оба атмосферного давления или оба вакуума), а затем включите освещение в обеих камерах и тщательно удалите образец, покрытый проводящей пленкой.