Технология 12 - дюймовой кристаллической круглой сушилки ведет к высокой *, модульности и интеллекту в основном:

1. Дифференциация технологических маршрутов

Плазменная сушка: Благодаря высокой однородности сухости и низкой скорости загрязнения частицами (остаточное содержание частиц < 10 шт. / пластин), в 28 нм и следующих передовых процессах составляет более 58%, становится основным техническим направлением.

Высокоскоростная вращающаяся сушка: путем центробежного высыхания в сочетании с продувкой горячим воздухом / инертным газом, время обработки монолитной пластины < 1 минута, совместимая с 8 - 12 - дюймовыми кристаллами, подходит для массового производства.

Вакуумная сушка: низкотемпературная среда (< 40°C) избегает окисления металлов, отличное управление частицами, но высокая стоимость оборудования, небольшое количество обработки в одной партии, в основном для передовой упаковки.

2. Интеллектуальные тенденции модернизации

Визуальное обнаружение ИИ: мониторинг сухого состояния кристаллического круга в режиме реального времени, автоматическое регулирование параметров, повышение хорошей скорости.

Технология цифрового двойника: моделирование процесса сушки, оптимизация технологического пути, сокращение цикла исследований и разработок.

Модульный дизайн: поддержка многополостной интеграции, конфигурация одного устройства 4 - 6 технологических полостей, большая мощность до 300 таблеток в час для удовлетворения потребностей высокой производительности.

12 - дюймовая кристаллическая круговая сушилка для расширения сцены применения, привод устройства для повышения производительности:

1. Резкий рост спроса на передовые процессы

По мере расширения производственных мощностей сложных конструкционных чипов, таких как 3D NAND и FinFET, предъявляются более высокие требования к чистоте и стабильности процессов сушки.

2. Возникновение новых потребностей в новых областях

Автомобильная электроника: автомобильные чипы перемещаются с 8 дюймов на 12 дюймов, что требует высокой надежности и контроля частиц для сухих устройств.

Искусственный интеллект и высокопроизводительные вычисления: вспышка спроса на чипы AI подтолкнула 12 - дюймовый завод по производству кристаллов к расширению производства, что привело к модернизации сушильного оборудования в направлении высокой производительности и низкого ущерба.