12 - дюймовая сушилка с кристаллической окружностью широко используется в разработке линии производства кристаллической окружности, ее основная функция заключается в удалении остаточной влаги и примесей на поверхности кристаллической окружности после мокрой очистки с помощью физических или термодинамических средств для обеспечения чистоты и выравнивания поверхности кристаллической окружности, тем самым повышая качество и надежность полупроводниковых устройств. Анализ проводится в трех измерениях:

I. Технические принципы: совместная работа нескольких механизмов для достижения эффективной сушки

12 - дюймовая кристаллическая круговая сушилка обычно интегрируется с различными технологиями, такими как центробежная сушка, конвекция горячего воздуха, продувка азота и инфракрасное излучение, образуя композитную систему сушки:

1. Центробежная сушка: центробежная сила, создаваемая высокоскоростным вращением, сбрасывает воду с поверхности кристаллического круга и дополнительно испаряет остаточную воду с циклом горячего воздуха. Время обработки монолита этой технологии может быть сокращено до 1 минуты и подходит для массового производства.

2. Азотная продувка: продувка поверхности кристаллической окружности азотом высокой чистоты предотвращает окисление и ускоряет испарение воды. Некоторые устройства используют бесконтактный нагрев азота, чтобы избежать прямого контакта нагревателя с азотом и уменьшить загрязнение частицами.

3. Инфракрасное излучение: прямое нагревание поверхности кристаллического круга через инфракрасный луч длиной волны 1 - 10 мкм для достижения локального точного контроля температуры и чрезвычайно высокой скорости сушки, особенно для сверхтонких кристаллических кругов и гибких электронных устройств.

Во - вторых, 12 - дюймовые кристаллические круглые сушилки проходят через несколько основных процессов производства полупроводников:

Процедура переднего прохода (FEOL): высыхает сразу после очистки кристаллического круга, избегая дефектов, вызванных водяными пятнами или остатками пленки. Например, после химической механической полировки (CMP) сушилка может быстро удалить остаточный абразивный раствор с поверхности кристаллической окружности и предотвратить загрязнение ионами металла.

Средняя технология (MEOL): После фотолитографии, травления и других этапов сушилка используется для удаления остатков фоторезиста или побочных продуктов травления на поверхности кристаллического круга, чтобы обеспечить точность последующего процесса.

3.Задний процесс (BEOL): Перед испытанием упаковки сушилка производит окончательную очистку кристаллического круга, предотвращает введение примесей в процесс упаковки и повышает надежность устройства.

Кроме того, оборудование также широко используется в фотоэлектрическом производстве (например, очистка элементов оптического покрытия), биомедицине (например, очистка биореактора) и автомобильной электронике и других областях для удовлетворения потребностей в высокой чистоте и высокой надежности.

III. Преимущества производительности: повышение эффективности производственной линии, вызванное технологическим обновлением

12 - дюймовая кристаллическая круговая сушилка значительно оптимизирует эффективность и стоимость производственной линии благодаря технологическим инновациям:

Высокая совместимость: Поддержка обработки многоразмерных кристаллических кругов размером 4 - 12 дюймов, адаптированных к потребностям различных технологических узлов.

2. Высокоточное управление: оснащается системой визуального обнаружения ИИ, которая в режиме реального времени контролирует сухое состояние кристаллической окружности и автоматически регулирует параметры (например, скорость вращения, температура) для обеспечения однородности сушки. Некоторые устройства имитируют процесс сушки с помощью технологии цифровых двойников, оптимизируют технологический путь и уменьшают затраты на испытания и ошибки.

3.Низкие затраты на техническое обслуживание: механическая конструкция упрощает конструкцию (например, насос без смазки масла, антикоррозионная полость ПВХ), снижает частоту отказов оборудования и частоту технического обслуживания.