Являясь передовым аналитическим инструментом в области материаловедения,Благодаря модульному дизайну и интеллектуальному операционному интерфейсу сканирующие зеркала серии Zeiss EVO предоставляют исследователям полный спектр решений, начиная от базовой визуализации и заканчивая сложным анализом.Эта система расчесывает свои рабочие процессы и ключевые технические моменты.

　　Готовность к загрузке и самопроверка оборудования

Перед запуском сканирующего зеркала ZEISS необходимо подтвердить параметры окружающей среды: контроль температуры при 20–24 °C, влажность ниже 65%, питание питания UPS в норме. Операторы должны носить антистатические перчатки, чтобы избежать загрязнения образцов или повреждения электронных компонентов. После включения воздушного переключателя на задней панели узла нажмите кнопки Standby и On поочередно, и система войдет в программу самоконтроля. На этом этапе необходимо наблюдать рабочее состояние вакуумного насоса, чтобы обеспечить нормальный запуск механического насоса и молекулярного насоса, показания вакуумметра постепенно снижаются ниже 1,3 × 10 ⁻ mbar.

　　II. Загрузка образцов и настройка параметров

После высвобождения вакуума в пробной камере через надувной клапан в пятиосный грузовой стол с помощью кольцевого пинцета загружается неподвижный стенд для проб с проводящим клеем. Для непроводящих образцов требуется предварительная обработка золотом или углеродным покрытием для устранения эффекта заряда. Установите напряжение ускорения (EHT) в программном обеспечении SmartSEM, образец электропроводности рекомендует 10 - 30 кВ, а образец без электропроводности использует режим низкого напряжения 1 - 5 кВ с технологией замедления электронного луча. Рабочее расстояние (WD) обычно устанавливается в 8,5 мм, и этот параметр напрямую влияет на разрешение изображения и интенсивность сигнала.

　　Выбор и оптимизация режима изображения

Серия EVO оснащена линзовой системой OptiBeam, которая поддерживает пять режимов наблюдения:

1. Высокий вакуумный режим SE: получение информации о форме поверхности с помощью вторичного электронного детектора (SE2), применимого к образцам электропроводности, таким как металлы и керамика;

2. Электронный режим обратного рассеяния (BSD): дифференциация состава материала по контрастности атомных порядковых чисел, обычно используемая при анализе композиционных материалов;

3. Низкий вакуум - режим: для наблюдения проб, содержащих воду или загрязняющих окружающую среду, без распыления золота, вакуум может поддерживаться до 20 - 260 Па;

Режим замедления электронного луча: снижение эффективной энергии посадки путем применения смещенного напряжения значительно повышает качество изображения непроводящих образцов.

Операция должна быть выполнена в сочетании с перемещением несущей станции с помощью окна Reduce для пошаговой фокусировки и получения изображений с субнанометровым разрешением при 100 000 - кратном увеличении.

　　IV. Спектральный анализ энергии (EDS) Интегрированные операции

После подключения спектрометра Inca X - Act в Оксфорде создается проектный файл в программном обеспечении AZtec, выбирается режим точечного сканирования, линейного сканирования или поверхностного сканирования. При сканировании поверхности необходимо установить количество раз сбора, и система автоматически генерирует распределение элементов и процентные отчеты о массе. Экспериментальные данные показывают, что при рабочем расстоянии 8,5 мм выходная скорость счета может стабильно поддерживаться выше 1000 см / с для обеспечения точности данных.

　　V. Техническое обслуживание и управление данными

После завершения анализа нажмите Shutdown Gun, чтобы выключить провода и последовательно отключить программное обеспечение SmartSEM, EM Server и питание хоста. После 30 минут охлаждения системы отключите воздушный выключатель и запишите журнал работы устройства. Исходные данные должны быть помечены экспериментальными условиями, которые обеспечивают связь данных между устройствами с помощью программного обеспечения ZEN Core, обеспечивая полную цепочку прослеживаемости для последующего анализа.

Благодаря интеллектуальным навигационным камерам и автоматизированному проектированию рабочего процесса сканирующие зеркала ZEISS снижают сложность работы традиционных зеркал более чем на 60%. Его модульная архитектура поддерживает многосценарийные приложения от фундаментальных исследований до промышленного контроля качества, обеспечивая эффективные и надежные решения для представления материалов.