В процессе производства полупроводников коррозия как ключевое технологическое звено, ее точность напрямую определяет преимущества и недостатки производительности чипа. Традиционные методы измерения часто не справляются со сложными профилями травления, и появление 3D - оптического контура Sensofar S neox привело к прорыву в решении этой проблемы.

Процесс травления путем мокрого или сухого травления избирательно удаляет материал чипа для формирования характеристик схемы. В этом процессе однородность глубины травления и точность угла боковой стенки становятся ключевыми параметрами, влияющими на производительность устройства. В частности, по мере того, как размер устройства продолжает уменьшаться, требования к точности измерения также становятся все выше и выше.

Оптический контур Sensofar S neox 3D оснащен 50 - кратным интерферометрическим объективом, позволяющим с точностью захватывать информацию о трехмерном контуре профиля травления. Этот бесконтактный метод измерения с высоким разрешением предоставляет производителям эффективные средства мониторинга процесса.

Благодаря программному обеспечению SensoPRO от Xianjin система обеспечивает автоматический анализ высоты на наноуровне, что значительно повышает эффективность и точность измерений. Этот технологический прорыв позволяет характеристикам травления строго соответствовать требованиям допуска к размеру, обеспечивая надежную поддержку данных для оптимизации процесса.

Оптический контур S neox сочетает в себе четыре технологии общей фокусировки, интерферометрии, суперпозиции Ai с несколькими фокальными поверхностями и измерения толщины мембраны, чтобы сформировать полное решение для измерения. Эта многотехнологичная концепция дизайна позволяет ему справляться с различными сложными сценариями измерений.

Технология общей фокусировкиСамый ГаоГоризонтальное разрешение, достигающее 0,14 мкм горизонтального разрешения, отвечает строгим требованиям измерения ключевых размеров.ИнтерферометрияЭто позволяет измерять высоту с субегипетским разрешением, особенно для представления гладких и непрерывных поверхностей.

В Sensofar реализована глубокая оптимизация пользовательского опыта. Программное обеспечение SensosCAN обеспечивает четкий и интуитивный интерфейс, который позволяет пользователям выполнять автоматические измерения всего за один клик. Система способна интеллектуально распознавать условия освещения и диапазон измерений в Zui Jia и получать качественные результаты за считанные секунды.

Поддержка автоматического измерительного модуля позволяет пользователям легко выполнять пользовательское программирование, достигать целей управления качеством и тестирования. Благодаря функции автоматического распознавания контрастных точек изображения реализованы полностью автоматизированные измерения без вмешательства, что значительно повышает эффективность обнаружения.

Технология демонстрирует сильные преимущества в нескольких областях:

МикроэлектроникаВозможность быстрого и неразрушающего измерения начального отклонения нанодатчика давления;

Прецизионная обработкаОбласть, может точно измерять параметры режущего лезвия сложного инструмента;

Медицинское оборудованиеПромышленность поддерживает поверхностный морфологический анализ зубных имплантатов.

Компания Sensofar всегда придерживается самых высоких стандартов качества Gao, а все устройства Wan соответствуют стандарту ISO 25178. Система корректируется с помощью отслеживаемых стандартных блоков для обеспечения точности и надежности измеренных данных. Эта строгая система контроля качества обеспечивает надежную гарантию измерения для научных исследований и промышленного производства.

При непрерывном развитии полупроводниковой технологии требования к точности измерений будут продолжать улучшаться. Благодаря технологическим инновациям 3D - оптический контур Sensofar S neox установил новый отраслевой стандарт для измерения профилей коррозии, чтобы помочь обрабатывающей промышленности двигаться в более сложном и интеллектуальном направлении.

Этот прибор не только представляет собой самый гао - уровень современных оптических измерительных технологий, но и закладывает прочную основу для будущего развития микронанопроизводства. Его отличная производительность и надежная производительность делают его идеальным выбором для контроля качества в научных учреждениях и компаниях.