Sensofar S neox обеспечивает полный спектр измерений от гладких поверхностей субнанометрового уровня до грубых структур миллиметрового уровня с помощью технологии совмещения фокусировки, интерференции и мультифокальной суперпозиции.
Технология с общей фокусировкой фильтрует свет без фокуса через отверстие иглы, получает высококонтрастные двумерные изображения и строит 3D - форму после продольного сканирования. Режим имеет поперечное разрешение 0,10 мкм, в сочетании с 150 - кратным объективом с числовой апертурой 0,95, гладкая поверхность измеряет наклон до 70 °, грубая поверхность до 86 °, а повторяемость измерений оси Z стабилизируется на наноуровне. Подходит для распознавания тонких структур, таких как крошечные линии, щели и другие тонкие структуры, такие как определение формы линии полупроводниковых чипов.
Интерферометрия белого света и интерферометрия фазового сдвига оптимизированы для различных гладких поверхностей: интерференция белого света с продольным разрешением 0,1 нм, адаптирована к слегка грубой поверхности; Фазовая интерференция Дайя - нанометровая точность, предназначенная для сверхгладкой поверхности, и ни один из них не зависит от кратности усиления. Технология многофокусной суперпозиции фокусируется на грубой поверхности, глубина однократного сканирования 8 мм, может соответствовать требованиям измерения сложных конструкций, таких как формы и детали для изготовления присадок.
Переключение этих режимов выполняется автоматически с помощью интеллектуального оптического двигателя, и пользователь просто нажимает на одну операцию, и система выбирает технологию адаптации в соответствии с характеристиками измерительной задачи. Например, при измерении сверхгладкой поверхности оптической линзы автоматически переключается на интерференцию фазового сдвига; Проверьте грубую структуру формы при запуске режима мультифокальной суперпозиции.
Таблица соответствия технической модели
При использовании пользователям не нужно вручную судить о совместимости режимов, программное обеспечение автоматически рекомендуется в соответствии с поверхностными характеристиками изображения предварительного просмотра или может быть выбрано вручную в « расширенных настройках». Конструкция значительно улучшает адаптивность оборудования к различным образцам, покрывая потребности многоотраслевых измерений, таких как электроника, автомобили и медицина.