TALD производит самоограниченные химические реакции на поверхности фундамента путем чередования двух или более газов - предшественников, осаждая пленку по слоям. Каждый полный цикл осаждения состоит из четырех этапов:
Введите первый газ - предшественник: химически адсорбируйте его с поверхностью фундамента, образуя однослойную адсорбцию.
Передув инертным газом: Удаление избыточных предшественников и побочных продуктов, избегая реакции в газовой фазе.
Введите газ второго предшественника: реагируя с первым адсорбированным предшественником, образуя одноатомную пленку.
Повторная продувка инертным газом: удаление непродуктивных предшественников и побочных продуктов и подготовка к следующему циклу.
При осаждении термоядерного слоя происходит химическая адсорбция и поверхностная реакция на поверхности фундамента путем чередования двух газов - предшественников (например, триметилалюминия и водяного пара), образующих моноатомный слой. После каждой реакции неактивные предшественники должны быть очищены инертным газом (например, азотом), чтобы обеспечить самоограниченность процесса осаждения и избежать чрезмерной реакции.
Очистка реакционной камеры и борьба с загрязнением
Сразу же после каждого использования необходимо очистить реакционную камеру, вытереть внутреннюю стенку пыльной тканью и специальным очистителем, сосредоточиться на очистке сопла, подложки и других легко накапливающихся участков, чтобы избежать остатков предшественника или осаждения частиц, влияющих на характеристики пленки. А
При длительном отключении необходимо опорожнить трубопровод и продуть его инертным газом, чтобы предотвратить коррозию трубопровода остатками.
Приоритеты обслуживания
Управление прекурсорами: прекурсоры легко гидролизуются / окисляются, требуют герметичного хранения, периодически заменяются (во избежание снижения чистоты);
Очистка реакционной полости: остаточные предшественники после осаждения легко образуют осадочные отложения, которые периодически очищаются плазмой (например, плазмой O2C) или химическим очищающим раствором;
Обнаружение утечки в трубопроводе: убедитесь, что в газопроводе нет утечки, чтобы избежать блокировки, вызванной смешанной реакцией предшественника;
Обслуживание вакуумной системы: регулярная замена масла вакуумного насоса, чистка вакуумных калибров для обеспечения стабильности вакуума.