Выбор мишени для ионного распылителя зависит от качества покрытия

О нас

Beijing Yingsitao Technology Co., Ltd

Электронная почта
cindy_yst@instonetech.com
Телефон
18600717106
Адрес
Улица Аэропорта района Шуньи, Пекин

Дата:2025-12-13Читать:1

　　прибор для ионного распыленияАтомное осаждение пленки достигается путем бомбардировки поверхности мишени ионами высокой энергии. Выбор мишени напрямую определяет физико - химические свойства покрытия, необходимо учитывать свойства материала, технологические параметры и потребности применения.

Тип мишени соответствует характеристикам

Металлические мишени (например, Au, Al, Cr): подходят для сценариев с высокой электропроводностью, таких как электронное инкапсуляция и оптические отражающие пленки.

Сплавные мишени (например, NiCr, TiAl): Твердость покрытия (например, твердость покрытия TiAlN > 25 GPA) или антиоксидантность можно оптимизировать с помощью регулирования состава.

Керамические мишени (например, SiOneneneek, ZrOneneneek): используются для изоляции или износостойких покрытий, но обратите внимание, что их хрупкость может привести к снижению эффективности распыления.

Влияние параметров мишени на качество покрытия

Требования к чистоте: мишень высокой чистоты (≥99,99%) может уменьшить введение примесей, например, область полупроводников требует содержания золота в золотой мишени > 99999%.

Микроскопическая структура: мишень с цилиндрической структурой может легко привести к концентрации напряжений в покрытии, в то время как мелкозернистая мишень (размер зерна < 1 мкм) может повысить адгезию.

Коэффициент распыления: скорость распыления различных материалов значительно различается (например, Al > Cu > Ti), и скорость осаждения должна быть сбалансирована путем регулирования мощности.

Типичный сценарий применения

Биосектор: Выберите золотую мишень высокой чистоты (Au ≥ 99,99%) для обеспечения электропроводности покрытия и биологической совместимости.

Оптические приборы: изготовление противоотражающей пленки с использованием мишени SiOneneneek для оптимизации коэффициента преломления путем регулирования давления распыления (0,5 - 1 Па).

Антифрикционное покрытие: мишень TiN в сочетании с импульсным распылением смещения может образовывать плотное нанокристаллическое покрытие на поверхности инструмента.

Стратегия выбора мишени

Контроль затрат: предпочтение отдается рентабельным альтернативным материалам (например, замена Ag на Al для временных проводящих слоев).

Технологическая совместимость: при высокотемпературном распылении необходимо выбрать термостойкую мишень (например, Mo, W), чтобы избежать размягчения и деформации мишени.

Экологические соображения: постепенный отказ от свинца, кадмия и других вредных элементов целевых материалов в соответствии со стандартами RoHS.

Последняя статья:Знакомьтесь с описанием отложений термоядерного слоя.

Следующая статья:Анализ соответствия материалов для микро - принтеров 3D