Недавно проект « Высокомерная многоосная лазерная интерферометрическая технология и приборы с высоким разрешением», завершенный Университетом Цинхуа, выиграл первый приз научно - технического прогресса Китайского общества метрологии и испытаний в 2018 году.
Измерение - это основа науки и техники, инструмент человеческого познания мира. Три технологические революции в человеческом календаре тесно связаны с прорывом в технологии измерения и тестирования. Измерение и тестирование научно - технических достижений имеет важное значение для продвижения прогресса и развития других наук и технологий. Лазерная интерферометрия является эффективным средством достижения сверхточного измерения и управления и микронанометровых измерений, важным способом обеспечения прослеживаемых наноизмерений, а также ключевой технологией измерения и тестирования на пути к метрологической державе и производственной державе *.
Команда проекта нацеливает лазеры на сверхточное позиционирование, базовые измерения и применение приборовИнтерферометрВысокие динамические, высокоразрешающие, межмасштабные и прослеживаемые требования к измерениям, углубленное изучение общих научно - технических проблем в документировании принципов, методов и измерительных систем, прорыв интегрированной многоосной интерференции, демодуляции сигнала и компенсации преломления и других ключевых технологий, формирование полной автономной высокопроизводительной лазерной интерферометрической системы; Предложите серию лазерных интерферометрических измерений, которые могут быть прослежены до эталона длины или частоты, для достижения высокоточных измерений с неопределенностью до размеров кожи и нанометров; Сформирована серия результатов интеллектуальных продуктов, результаты исследований поддерживают независимые исследования и разработки фотолитографии в Китае с высокой точностью позиционирования, лазераВиброметрСигнальная демодуляция и другие приложения, и был выбран в национальную выставку достижений науки и техники « 12 - я пятилетка».
Проект реализует высокоскоростную, многоосную и крупномасштабную лазерную интерферометрическую измерительную систему с высоким разрешением, разработанную из интерферометрических компонентов, детектирования и демодуляции сигналов в многоуровневую программу обнаружения свободы, и предлагает метод точного измерения длины лазерной интерферометрии с прослеживаемым источником оптической частоты. До сих пор проект был уполномочен изобрести более 20 специальных изобретений и опубликовал более 30 статей, включенных в SCI.
Кроме того, проектная команда разработала фотолитограф с двойной частотойЛазерный интерферометрСистема, успешно примененная в процессе разработки прототипа самодеятельного фотолитографического станка в Китае, в общей сложности применяется более 50 комплектов, что хорошо удовлетворяет потребности в точных измерениях прототипа двухступенчатого фотолитографического станка, поддерживает формирование мощности двухчастотного лазерного интерферометра для фотолитографии, уменьшает зависимость от зарубежных сухих инструментов, обеспечивает превосходную производительность и неконтролируемую способность к измерению и прослеживанию.
Премия Китайского общества метрологии и испытаний за научно - технический прогресс - это премия за научно - технический прогресс на уровне провинций и министерств, зарегистрированная в Государственном управлении по наградам в области науки и техники. Первый приз присуждается проектам, которые требуют, чтобы вся технология была официально применена в течение более трех лет и чтобы были достигнуты значительные экономические или социальные выгоды. В настоящее время продукция успешно применяется во многих областях, таких как аэрокосмическая промышленность, автомобилестроение и проверка станков, и стала мощным инструментом поддержки для повышения качества продукции китайского производства.