Лазерная интерферометрия « Динамика химической приборной сети» относится к лазеру как источнику света, длине волны лазера или частоте лазера в качестве эталона, использованию интерферометрического принципа света для проведения точных измерений, имеет преимущества бесконтактного измерения, высокой чувствительности и высокой степени. Лазерные интерферометрические приборы, как правило, используются для измерения смещения, длины, угла, основания поверхности, изменения скорости преломления среды и т. Д., Часто используемые интерферометры, такие как интерферометр Михельсона, интерферометр Маха - Зедера, интерферометр Фиссо, интерферометр Таймана - Грина и другие лазерные интерферометры, являются одним из эффективных средств достижения сверхточного измерения и управления и измерения микронанометра, играют чрезвычайно важную роль во многих областях. В последнее время при поддержке крупных государственных научно - технических проектов « Оборудование для производства интегральных схем большого масштаба и комплекты технологий», проект « Многоосные лазерные интерферометрические методы и приборы с высоким разрешением с высокой скоростью измерения скорости», завершенный исследовательской группой Ли Яня, профессором университета Цинхуа и директором Академического комитета факультета прецизионных приборов, преодолел ряд ключевых технических узких мест и сформировал новые методы, системы и приборы измерения. По словам директора Ли, проект реализует высокоскоростную, многоосную и крупномасштабную лазерную интерферометрическую измерительную систему с высоким разрешением, разработанную полностью цепной саморазвивающейся системой от интерферометрических компонентов, детектирования и демодуляции сигналов до программы обнаружения с несколькими степенями свободы. В настоящее время команда проекта разработала двухчастотную лазерную интерферометрическую систему для фотолитографии, которая была применена к процессу разработки прототипа самодеятельного фотолитографического станка в Китае, в общей сложности было применено более 50 комплектов. Результаты этого исследования удовлетворяют потребности в точных измерениях прототипа двухкомпонентного станка фотолитографии, уменьшают зависимость от иностранных интерферометров, снижают риски исследований и разработок, связанные с экспортными ограничениями Китая, и играют позитивную роль в обеспечении плавной реализации исследований и разработок двухкомпонентного стенда фотолитографии в Китае. Кроме того, разработанный в рамках проекта интерферометр с отслеживаемым внешним интерферометром с субнанометровым разрешением также используется в исследованиях по сравнительной проверке исследований и разработок лазерных многомерных измерительных систем. Контролируемый гетероинтерферометр с субнанометровым разрешением может определить причину нелинейной ошибки лазерной многомерной измерительной системы и исправить ее с помощью специальной схемы, чтобы улучшить производительность соответствующей единицы лазерной многомерной измерительной системы. Новый метод интерферометрии прослеживаемости, предложенный командой разработчиков, способствовал переопределению молевых единиц с использованием константы Авогадро. Стоит также отметить, что в прошлом Китай не освоил основную технологию разработки лазерных интерферометрических измерительных приборов, но успех этого проекта одним махом нарушил иностранные ограничения и монополию на лазерные интерферометрические приборы в Китае, обогатил теорию и технологию лазерной интерферометрии в Китае, а это означает, что в будущем разработка оборудования и приборов в Китае будет иметь стабильную производительность и не будет зависеть от зарубежных возможностей измерения и отслеживания. В целом, результаты исследования имеют очень важные технические, экономические и социальные выгоды. Лазерная интерферометрическая технология является важным способом обеспечения прослеживаемых наноизмерений, а также ключевой технологией измерения и тестирования, которая продвигает Китай к метрологической державе и производственной державе. Я считаю, что по мере того, как команда R & D продолжает углубленные исследования, технология лазерной интерферометрии Китая будет продолжать улучшаться, принося больше пользы нашей стране.