Явление: зонд не может точно связаться с точкой тестирования кристаллического круга или чипа, что приводит к аномалиям в тестовых данных.

1. Проверка механических конструкций (5 минут)

Ось X / Y / Z ослаблена:

Проверьте, ослабевает ли замочный винт стола зонда или рычага зонда.

После крепления винта точность повторного позиционирования стола проверяется индикатором.

Застык направляющей:

Очистите направляющую, нанесите небольшое количество смазки.

Нажмите столешницу вручную, проверьте, есть ли Катон или гетерозвук.

2. Калибровка оптической системы (10 минут)

Смещение фокуса микроскопа:

отрегулируйте высоту микроскопического объектива, чтобы обеспечить четкое изображение поверхности кристаллического круга.

Для проверки точности фокусировки используются калибровочные пластины (например, металлическая сетка шириной 10 мкм).

Смещение камеры CCD:

Запустите функцию « калибровки камеры» в программном обеспечении, чтобы перекалировать систему координат зонда и изображения.

Проверьте, не ослабевает ли кабель камеры.

3. Сброс параметров программного обеспечения (5 минут)

Сбой в системе координат:

Нажмите « Сбросить систему координат» в программном обеспечении управления, чтобы переопределить исходную точку.

Проверьте, были ли ошибочно изменены « компенсационные значения зонда» в программном обеспечении.

Отказ карты управления движением:

Перезагрузите карту управления движением (подождите 1 минуту после выключения питания).

Обновить прошивку до последней версии.

II. Плохой контакт: быстрая диагностика и восстановление

Явление: контакт зонда с испытательной точкой нестабилен, что приводит к колебаниям сопротивления или открытию.

1. Проверка состояния зонда (5 минут)

Износ зонда:

Наблюдайте за кончиком иглы зонда с помощью микроскопа, чтобы проверить, есть ли изгиб, окисление или износ.

Замена изношенных зондов (например, с использованием материалов из вольфрамовой стали или бериллия и меди).

Преображение карты зонда:

Проверьте, искривлена ли карта зонда, деформация более 0,1 мм требует замены.

Очистить карту зонда.

2. Корректировка контактного давления (10 минут)

Слишком большое / слишком маленькое давление:

Для измерения контактной силы зонда используется манометр со стандартным значением 2 - 5g.

Регулируйте натяжение пружины стрелки зонда (вращение по часовой стрелке увеличивает давление, уменьшает против часовой стрелки).

Неравномерность стола:

Проверьте горизонт стола.

Настройка опорных винтов под столом.

3. Устранение экологических помех (5 минут)

Электростатическое воздействие:

Проверьте, хорошо ли заземление подключено.

Используйте ионный вентилятор для нейтрализации статического электричества.

Вибрационные помехи:

Переместите зондовый стол в безвибрационную зону.

Поместите антивибрационные прокладки под стол.

III. Нечеткость изображения: быстрая оптимизация и восстановление

Явление: изображение с микроскопа или камеры нечетко, что влияет на точность позиционирования зонда.

1. Очистка оптических компонентов (5 минут)

Загрязнение объективом:

Пыль с поверхности объектива выдувается воздушным шаром, а затем вытирается ватной палочкой, смоченной в небольшое количество оптического очищающего средства.

Проверьте, не ослабевает ли объектив.

Разрушение источника света:

Регулируйте яркость источника света, замените стареющую лампочку.

Проверьте, не ослабевает ли линия соединения источника света.

2. Корректировка параметров изображения (10 минут)

Ошибка фокусировки:

Ручное вращение ручки фокусировки микроскопа до тех пор, пока изображение не станет наиболее ясным.

Включить функцию « Автофокус» в программном обеспечении.

Недостаточный контраст:

Настройка усиления камеры и времени экспозиции.

Использование поляризационных пластин для уменьшения отражения.

3. Синергия программного и аппаратного обеспечения (5 минут)

Отказ карты обработки изображений:

Перезагрузите карту обработки изображений (подождите 1 минуту после выключения питания).

Обновить драйверы до последней версии.

Разрешение камеры не совпадает:

Установите разрешение камеры в программном обеспечении, которое соответствует параметрам оборудования.

Проверьте, не слишком ли низкая частота кадров камеры.

IV. Комплексное обследование и профилактика

1. Ежедневный список технического обслуживания

Очистить поверхность зондового стола (вытирать пыльной тканью).

Проверьте состояние зонда (наблюдайте кончик иглы с помощью микроскопа).

Запустите процедуру самоконтроля.

2. Предотвращение частых неисправностей

Износ зонда: замена зонда 5000 раз на тест.

Плохой контакт: регулярная очистка зондовых карт (1 раз в месяц).

Изображение размыто: ежеквартальная калибровка оптических систем (включая объективы и камеры).

3. Ликвидация последствий чрезвычайных ситуаций

Разлом зонда: немедленно остановите тест, удалите сломанную иглу пинцетом и замените новый зонд.

Столичная застряла: выключите питание и вручную отпустите устройство блокировки направляющей (например, кнопку аварийного выпуска сбоку).

Сбой программного обеспечения: принудительная перезагрузка компьютера (удерживание клавиши питания в течение 5 секунд) и восстановление профиля резервного копирования.

Резюме: Путем поэтапного выявления механических, электрических, оптических и программных проблем можно за 30 минут устранить неисправности в позиционировании зондового стола, плохом контакте и размывании изображения. Регулярное техническое обслуживание и профилактические осмотры могут значительно снизить частоту отказов и обеспечить стабильность тестирования.