Технология обработки микролинзЯвляется ключевой технологией для изготовления массивных элементов, состоящих из сотен - десятков тысяч микрон - линз, с высокой степенью интеграции, однородными оптическими характеристиками, сильной производственной мощностью массового производства и другими характеристиками, играет важную роль в области оптической связи, отображения изображений, биомедицины и других областях, продвигает оптическую систему к миниатюризации, легкой и многофункциональной модернизации.

Высокая интеграция и однородность производительности являются его основной конкурентоспособностью. Этот процесс позволяет создавать массивы микролинз с одинаковыми размерами и отклонением радиуса кривизны менее 1% на основе нескольких квадратных миллиметров. Диаметр каждой микролинзы обычно составляет 5 мкм - 500 мкм, а фокусное расстояние варьируется от нескольких десятков микрон до нескольких миллиметров. В области оптической связи массив микролинз может обеспечить параллельную связь многоканальных оптических сигналов, что значительно повышает пропускную способность волоконно - оптической связи; В модуле камеры мобильного телефона датчик изображения с интегрированной микролинзовой решеткой может увеличить приток света и улучшить качество изображения в условиях низкой освещенности.

Многочисленные технологические маршруты соответствуют различным потребностям. Технология обработки микролинзовой решетки в основном включает в себя фотолитографический метод термоплавления, метод серой литографии, метод нанопечати, фемтосекундную лазерную прямую запись и так далее. Фотолитографический метод термоплавления через фотолитографию, чтобы сформировать фоторезистную колонну, а затем нагрев, чтобы ее поверхностное натяжение приводило к образованию сферической линзы, простой процесс, низкая стоимость, подходит для области потребительской электроники; Нанопечатание через высокоточную форму для массового копирования микролинзовой структуры, высокая эффективность производства, может обеспечить крупномасштабное производство компонентов на миллион; Фемтосекундное лазерное прямое написание не требует маски, непосредственно на фундаменте вырезают сложные формы микролинз, подходящие для научных исследований и индивидуальных потребностей.

Многофункциональная интеграция способствует технологическим инновациям. Современная технология обработки микролинзовой решетки может сочетаться с покрытием, легированием и другими технологиями для достижения анти - отражения, поляризации, фильтрации и других дополнительных функций. В области биомедицины массивы микролинз с интегрированной функцией флуоресцентной фильтрации могут использоваться для визуализации клеток и повышения эффективности обнаружения; В устройствах AR / VR антиотражающая микролинзовая решетка уменьшает светоотражающие помехи и повышает четкость виртуальных изображений. Кроме того, этот процесс может также готовить асферические, свободные криволинейные микролинзовые массивы, которые обеспечивают больше возможностей для проектирования новых оптических систем.