Как полупроводниковое сверхчистое водное оборудование может обеспечить высокое качество воды?

О нас

Qingdao Xinruide Environmental Protection Technology Co., Ltd

Электронная почта
13310668118@163.com
Телефон
13310668118
Адрес
Циндао, район Чэньян, индустриальный парк Тяньгу

Дата:2025-08-08Читать:2

В области производства полупроводников сверхчистая вода является ключевым сырьем, и ее чистота напрямую влияет на производительность чипа и качество. Полупроводниковое оборудование для сверхчистой воды обеспечивает качество воды в соответствии со стандартами сверхвысокой чистоты с помощью ряда сложных технологических процессов и технических средств. Основными методами его реализации являются:

　　I. Этап предварительной обработки

Предварительная обработка является первым шагом в подготовке сверхчистой воды, основной целью которой является удаление взвешенных твердых веществ, частиц, микроорганизмов, органических веществ и части ионов из воды. Процесс предварительной обработки обычно включает следующие компоненты:

Оригинальный резервуар и насос сырой воды: хранение сырой воды и обеспечение стабильного давления воды.

Кварцевый песочный фильтр: удаление больших частиц суспензии в воде с помощью физической фильтрации.

Фильтр активированного угля: адсорбция органических веществ, хлора и других примесей в воде, снижение химической потребности воды в кислороде (COD).

4. Смягчитель: использование ионообменной смолы для удаления твердых ионов, таких как кальций и магний в воде, для предотвращения образования накипи в последующем оборудовании.

Безопасный фильтр: Дальнейшее удаление мелких частиц из воды для обеспечения качества воды, которая попадает в последующую систему.

半导体超纯水设备

　　II. Основной этап обработки

На этапе основной обработки ультрачистое оборудование использует различные передовые технологии очистки воды для дальнейшей очистки качества воды:

1. Технология обратного осмоса (RO): молекулы воды отделяются от растворенных солей, органических веществ, микроорганизмов и других примесей при высоком давлении с помощью полупроницаемой пленки, скорость удаления может достигать более 99%. Эта технология может эффективно снизить электропроводность воды и общее растворенное твердое вещество (TDS).

Технология электродеионизации (ЭДИ): Технология ЭДИ сочетает в себе ионно - обменные смолы и технологию электродиализа, используя электрическое поле для направленного переноса ионов в воде и их адсорбции к смоле, тем самым дополнительно удаляя ионы из воды. Система EDI может увеличить удельное сопротивление воды до более чем 15Mомега.

Ионообменные смолы: После ЭДИ ионообменные смолы обычно также используются для глубокой опреснения, что еще больше повышает чистоту воды. Ионообменные смолы могут адсорбировать микроионы в воде, что приводит к резистентности воды до 18Mомега · см или даже выше.

　　III. Этап очистки

Этап очистки предназначен для обеспечения того, чтобы качество воды соответствовало стандартам сверхвысокой чистоты, необходимым для производства полупроводников, и обычно включает следующие этапы:

Полированный миксер: полированный миксер является последним шагом в приготовлении сверхчистой воды, с помощью ионообменной смолы высокой чистоты для дальнейшего удаления мелких примесей в воде, чтобы обеспечить резисторность воды до 18,2 ммомега · cm.

Ультрафиолетовая дезинфекция: ультрафиолетовая дезинфекция используется для уничтожения бактерий и микроорганизмов в воде и обеспечения биологической безопасности качества воды.

Удаление TOC: удаление органического углерода из воды с помощью ламп TOC - UV или фильтров с активированным углем, чтобы обеспечить общее содержание органического углерода (TOC) в качестве воды менее 1 ppb.

Дегазация: удаление растворенного кислорода и углекислого газа очень важно в процессе производства полупроводниковой сверхчистой воды. Устройства дегазации, как правило, устанавливаются после ЭДИ или перед полированным смесителем с использованием высокочистого азотного продувания и вакуумной комбинации для снижения растворенного кислорода в воде до менее 10 ppb или даже ниже.

　　Мониторинг качества воды и автоматизированный контроль

Полупроводниковые установки для сверхчистой воды обычно оснащены современными системами мониторинга качества воды и автоматизированными системами управления. Эти системы могут контролировать параметры качества воды в режиме реального времени, такие как удельное сопротивление, TOC, pH и т. Д. И автоматически корректировать рабочее состояние оборудования на основе результатов мониторинга для обеспечения стабильности и надежности качества воды. Автоматизированная система управления также обеспечивает автоматическую загрузку и остановку оборудования, предупреждение о неисправностях и дистанционный мониторинг, повышая эффективность работы и уровень управления устройством.

Благодаря синергии вышеупомянутых многоступенчатых процессов полупроводниковое сверхчистое водное оборудование может эффективно удалять различные примеси в воде, обеспечивать, чтобы качество воды соответствовало стандартам сверхвысокой чистоты, удовлетворять строгим требованиям к качеству воды при производстве полупроводников. Это высокое качество воды имеет решающее значение для таких процессов, как очистка, травление и фотолитография в процессе производства полупроводников, и может эффективно улучшить производительность чипа и хорошую производительность.

Последняя статья:Принципы, преимущества и применение озоноразрушающего оборудования

Следующая статья:GMP Инъекционное оборудование для воды Общие проблемы и решения