I. ВВЕДЕНИЕ

В области современной вакуумной технологии, молекулярные насосные группы из - за их способности достичь высокого вакуума и даже сверхвысокой вакуумной среды, широко используются в производстве полупроводников, исследованиях материалов, поверхностном анализе, подготовке фотоэлектрических устройств, вакуумном покрытии и многих других отраслях промышленности. В этой статье в сочетании с конкретными параметрами определенного типа молекулярного насоса (например, режим управления запуском, молекулярный насос TURBOVAC 90i, предельный вакуум 10 ⁻Pa, системная утечка 1 × 10 ⁻Pa · m³ / s и т. Д.), из технических характеристик, типичных сценариев применения и случаев использования трех измерений для углубленного анализа.

---

II. Технические характеристики молекулярных насосов

Молекулярный насосный агрегат обладает высокой производительностью вакуумного насоса, основные технические параметры которого следующие:

• Режим управления: запуск одним нажатием клавиши, простая работа, снижение порога использования

• Молекулярный насос: TURBOVAC 90i, скорость накачки 90 л / с, для высоких потребностей в вакууме

• Передний насос: двухполюсный ротационный масляный насос (с опцией плавающий вихревой сухой насос 1,2 м³ / ч)

• Скорость откачки передней ступени: 2 м³ / ч

• Комбинированный вакуумметр: PTR90 (диапазон измерений от атмосферы до 5×10⁻Па)

• Предельная степень вакуума: 10⁻Па

• Спецификация интерфейса: KF40 (необязательно KF25, KF16)

• Способ охлаждения: Воздушное охлаждение, подходит для различных лабораторных сред

• Коэффициент утечки системы: 1×10 ⁻ Pa · m³ / s, отличная стабильность и герметичность

• Источник питания: 220 В 50 Гц

• Объем и вес: 400 × 340 × 260 мм, 18 кг, портативность лучше

Эти особенности делают его идеальным выбором для поддержки научно - исследовательского, промышленного и высоковакуумного оборудования.

---

Основные сценарии применения молекулярных насосов

1. Производство полупроводников и микроэлектроники

Полупроводниковые процессы, такие как осаждение (PVD, CVD), ионное травление, поверхностная очистка и т. Д., требуют высокой вакуумной среды, чтобы избежать загрязнения частицами и химических реакций помех.
Молекулярный насосный агрегат с предельным вакуумом 10 ⁻Па обеспечивает надежные условия переднего вакуума для фотолитографии, осаждения пленки и обработки кристаллического круга.

Примеры использования:
Завод по производству кристаллических пластин в процессе удаления фоторезиста использует молекулярный насос, в сочетании с контактной полостью очистки, путем быстрого выкачивания времени для повышения эффективности процесса и повышения чистоты поверхности кристаллического круга.

---

Материаловедение и поверхностный анализ (XPS, AES, SIMS)

Технология поверхностного анализа имеет более высокие требования к вакууму, и если в полости слишком много остаточного газа, это может повлиять на спектр электронов, ионные сигналы и чувствительность обнаружения.

Особенности молекулярного насоса:

• Высокая скорость откачки (90L / s)

• Сверхнизкая скорость утечки (1×10 ⁻ Па · м³ / с)

• Экстремальный вакуум до 10 ⁻Па

Идеально подходит в качестве независимого источника вакуума или комплектующего насоса для исследовательского оборудования материалов.

Примеры использования:
Колледж материалов университета использует молекулярную насосную группу в качестве резервной вакуумной системы XPS (рентгеновский фотоэлектронный спектрометр) для вспомогательной вакуумной накачки во время обслуживания прибора, чтобы обеспечить стабильность и повторяемость результатов анализа.

---

3. Разработка фотоэлектрических устройств (OLED, лазеры, световые детекторы)

Процесс подготовки фотоэлектрической пленки включает в себя множество чувствительных материалов, требующих низкокислородного и низководного загрязнения окружающей среды.

Группа молекулярных насосов:

• Конструкция с воздушным охлаждением, долговечная стабильность

• Небольшой размер, удобная интеграция с камерой для испарения

• Высокая адаптивность интерфейса KF40

Особенно подходит для лабораторного испарительного оборудования и линии разработки прототипов.

Примеры использования:
При разработке нового инфракрасного детектора исследовательский институт использует молекулярную насосную группу для поддержки паровой полости, чтобы обеспечить сохранение вакуума полости на уровне 10 ⁻Па во время осаждения тонкой пленки, чтобы улучшить производительность устройства.

---

4. Оборудование для вакуумного покрытия (твердое покрытие, оптическое покрытие)

В процессе покрытия, если в полости слишком много газа, это может привести к снижению адгезии мембраны, серьезному окислению и другим проблемам.

Молекулярные насосы имеют:

• Высокая скорость накачки

• Стабильное воздушное охлаждение

• насос передней ступени быстрого пуска
  Это может значительно сократить время вакуумного вакуума и повысить эффективность покрытия.

Примеры использования:
Завод по оптическому покрытию использует молекулярный насосный агрегат для нижнего процесса накачки зеркала, время откачки на 30% короче, чем первоначальная система, общая эффективность производственной линии увеличивается на 15%.

---

5. Универсальная высоковакуумная система для научных лабораторий

Применяется к:

• Масс - спектрометр (MS)

• Вакуумная печь

• ионно - пучковое распыление

• плазменная экспериментальная установка

• криогенный экспериментальный образец

Его функция запуска одним нажатием клавиши с прочной вакуумной производительностью делает его идеально подходящим для различных междисциплинарных исследований.

Примеры использования:
Физическая лаборатория использует эту молекулярную насосную группу для создания независимой тестовой полости для измерения материалов в криогенной среде (LHe), высокая стабильность которой обеспечивает вакуумную надежность длительных экспериментов.

---

IV. Резюме типичных случаев использования

Из этих случаев мы видим, что эта молекулярная насосная группа из - за ее небольшого размера, высокой скорости накачки, простой работы, вакуумной стабильности, особенно подходит для интеграции в научно - исследовательское оборудование, полупроводниковый технологический модуль, фотоэлектрическую систему парового покрытия и другие приложения. Будь то промышленная линия или исследовательская лаборатория, она обеспечивает надежную гарантию экспериментов и производства со стабильной вакуумной мощностью.

---

V. ВЫВОДЫ

В качестве основного компонента высоковакуумной системы молекулярная насосная группа имеет характеристики, которые напрямую влияют на стабильность работы и точность тестирования оборудования. Благодаря молекулярному насосу TURBOVAC 90i, высокостабильному переднему насосу, сверхнизкой герметичности утечки и режиму управления запуском одним нажатием клавиши, этот тип молекулярного насоса сочетает в себе простоту использования, портативность и профессионализм, может широко использоваться в полупроводниках, материаловедении, фотоэлектрических устройствах, вакуумном покрытии и научных экспериментах.

Это не только повышает эффективность работы высоковакуумных систем, но и обеспечивает прочную основу для научных исследований и промышленных инноваций.