Одной из наиболее распространенных неисправностей молекулярных насосных групп является несоответствие вакуума, что проявляется в том, что значение вакуумметра всегда выше целевого значения и не может достичь высокого вакуума, необходимого для процесса. Есть три основные причины этой проблемы: во - первых, старение или повреждение уплотнения, например, фланцевое уплотнительное кольцо из - за длительных температур, чередующихся трещин при низких температурах, что приводит к утечке воздуха; Во - вторых, воздухозаборник или трубопровод заблокированы, накопление пыли, технологических отходов препятствует потоку воздуха; В - третьих, ослабление производительности самого молекулярного насоса, износ лопастей ротора или недостаточная скорость вращения двигателя. При диагностике герметичность может быть сначала проверена с помощью гелиевого масс - спектрометрического течеискателя, а в случае обнаружения утечки гелия - заменена уплотнение; Проверьте впускной трубопровод, продувайте или демонтируйте засорение сжатым воздухом; Если первые два не являются ненормальными, необходимо проверить скорость вращения двигателя и, при необходимости, заменить ротор или двигатель.

Аномальный шум и вибрация также являются его высокочастотными неисправностями, которые создают резкий звук во время работы или сильное дрожание тела, что не только влияет на срок службы оборудования, но и может повредить связанные компоненты. Источником неисправности в основном является механический дисбаланс, например, нарушение динамического баланса ротора, износ подшипника или недостаточная смазка, а также может быть ослабление соединения насоса с базой. Диагностические шаги заключаются в следующем: сначала останов проверяет соединительный болт, крепится крутящим гаечным ключом по стандартному моменту; Во - вторых, демонтаж корпуса насоса, чтобы наблюдать, есть ли царапины, износ шариков подшипника, если есть проблема, немедленно заменить и добавить специальную высокотемпературную смазку; Если подшипник в норме, необходимо провести калибровку динамического равновесия ротора, чтобы обеспечить стабильность центра тяжести при вращении.

Кроме того, отказ выключателя перегрузки двигателя также более распространен, внезапная остановка работы оборудования, выключатель защиты от перегрузки в распределительном ящике отключен. Отказ обычно вызван чрезмерной нагрузкой, такой как вход инородного тела в полость насоса в застрявший ротор, плохое охлаждение двигателя приводит к высокой температуре или нестабильному напряжению питания. Во время осмотра сначала отключите питание, вручную поверните ротор, если есть Катон, демонтируйте корпус насоса, чтобы очистить инородное тело; Проверьте, поврежден ли радиатор двигателя, заблокирован ли радиатор, своевременно очистите или замените детали; В то же время используйте мультиметр для обнаружения напряжения питания, убедитесь, что оно находится в пределах номинального напряжения оборудования, при необходимости установите стабилизатор напряжения.

Его диагностика и устранение неисправностей должны соответствовать принципу « сначала наблюдать явление, затем анализировать причину, окончательную точную обработку», в то же время регулярно проводить профилактическое обслуживание, такое как очистка уплотнения, проверка состояния подшипников, калибровка параметров двигателя и т. Д. Чтобы свести к минимуму возникновение неисправности, обеспечить долгосрочную стабильную работу оборудования, обеспечить надежную поддержку вакуумной среды для высокоточного производства и экспериментов.