схема высокочистого газопровода Тяньцзиньской лаборатории

схема высокочистого газопровода Тяньцзиньской лаборатории

Система газопроводов высокой чистоты отличается от обычных газопроводов. В общем, требуется, чтобы трубы не были слишком длинными, чтобы не было мертвых углов, как не так легко продувать чистые "слепые трубы". В конце компетентного или ответвленного трубопровода должны быть предусмотрены необходимые отверстия для сброса и отбора проб. У некоторых пользователей с прерывистым использованием небольшое количество газа непрерывно выделяется в конце трубопровода, так что газ в трубопроводе будет течь нормально, избегая появления « мертвой зоны». В соответствии с требованиями к качеству технологических газов при необходимости должны быть установлены оконечные очистительные устройства. Как правило, контрольные клапаны, фильтры, декомпрессионные устройства, манометры, расходомеры, инструменты для онлайн - анализа и так далее. Газопроводы высокой чистоты, поступающие в чистые цеха, сосредоточены в газовых камерах, что облегчает единое управление и контроль.

Трубопроводы высокой чистоты и вспомогательные материалы трубопроводов: трубопроводы высокой чистоты газопроводов должны использовать трубопроводы соответствующего качества в соответствии с различными требованиями технологии к чистоте газа, допустимому содержанию примесей, содержанию частиц и т. Д. Например, полупроводниковая промышленность не только нуждается в чистой производственной среде, но и имеет конкретные и строгие требования к различным газам высокой чистоты, необходимым в процессе производства из - за его сложных производственных процессов и тонкой обработки. От микронной технологии до субмикронной и глубокой субмикронной (менее 0,35um) технологии, требования к содержанию примесей и влаги в газах очень строгие, 10 - 6 (уровень ppm) не отвечают требованиям. Требуется достичь 10 - 9 (уровень ppb) или даже 10 - 12 (уровень ppt), а диаметр частицы пыли должен контролироваться на уровне 0,05 - 0,01 мкм. Таким образом, характеристики материала трубопровода должны соответствовать требованиям газов высокой и сверхвысокой чистоты.

Характеристики материала трубопровода Для трубопроводов, которые транспортируют высокочистый газ, основными характеристиками материала трубопровода, влияющими на качество газа, являются воздухопроницаемость, скорость выхода, адсорбция, шероховатость поверхности, износостойкость и коррозионная стойкость.

Требования к монтажу трубопроводов системы подачи газа

Прокладка трубопровода должна соответствовать проектным требованиям, а когда конструкция не требует, сухой газопровод должен быть установлен горизонтально; Трубопроводы для подачи влаги должны быть оборудованы с уклоном не менее 0003 и уклоном в сторону коллектора конденсата.

Трубопровод имеет сварное соединение, вольфрамовый электрод аргоно - дуговая сварка под днищем, ручная дуговая сварка покрыта. Сварка труб из нержавеющей стали или точечная сварка должны быть защищены аргоном

Газопроводы и оборудование, клапаны и другие приспособления должны быть соединены фланцем или резьбой. Заполнитель резьбового соединения должен быть из ТФУ - пленки.

Когда газопровод проходит через чистую камеру, наружная часть фланцевой прокладки или резьбового наполнителя должна быть очищена

Газопровод, пассивированный бесшовной стальной трубой с помощью пескоструйной очистки от ржавчины или травления, должен быть установлен централизованно, в течение 48 часов должна быть секционная комбинация, азотная защита, давление наполнения не менее 0,2 МПа

Для газопроводов, требующих заземления, между фланцами должны быть сварены проводящие трамплины. Разрезание проводника и длина сварного перекрытия должны соответствовать проектным требованиям. Сварочные точки должны быть прочными и надежными.

схема высокочистого газопровода Тяньцзиньской лаборатории