12 - дюймовая вертикальная средне - высокотемпературная окислительная печь

1. Обзор продукции:

ТЕОРИС X302В основном используется12 дюймов 600 °C - 12Процесс окисления и отжига при 00°C. Станция представляет собой вертикальную однополостную систему труб печи, процесс обработки обеспечивает высокую степень автоматизации. Система состоит в основном из модуля передачи, технологического модуля, шкафа питания и других частей.

2. оборудованиеприложениеА.

Размер кристаллической окружности

12 дюймов

Применимые материалы

кремний

Применимая технология

Высокотемпературная сушка/ Окисление влажным кислородом, окисление DCE, окисление азотом, высокотемпературный отжиг

Сфера применения

Усовершенствованные интегральные схемы, силовые полупроводники, материалы подложки

3. Особенные параметрыА.

Процесс окисления мокрым кислородом заключается в добавлении водяного пара в кислород для окисления. Северный Хуачэн Окислительная печь THEORIS X302 отлично зарекомендовала себя в процессе мокрого окисления кислорода. Он может точно контролировать содержание и способ ввода водяного пара для достижения точного регулирования скорости роста и качества оксидной пленки. При температурном контроле, то же самое имеет высокоточные характеристики для обеспечения того, чтобы кремниевые пластины нагревались равномерно в среде влажного кислорода, образуя однородную, плотную оксидную пленку. Регулирование расхода газа также очень точное, может гибко регулировать соотношение кислорода и водяного пара в соответствии с технологическими потребностями для удовлетворения различных продуктов для процесса мокрого окисления кислорода. Его превосходная технологическая стабильность и повторяемость делают результаты процесса мокрого окисления кислорода предсказуемыми и надежными.

4.Особенности оборудования

Передовые технологии контроля частиц

Передовые технологии борьбы с загрязнением металлов

высокоточная технология управления температурным полем

Поддержка быстрого повышенияТехнология снижения температуры

Высокая производительность