5 - дюймовая вращающаяся трубчатая печь CVD

Конструкция печи

• Двухэтажная конструкция корпуса с системой воздушного охлаждения
• Использование высокочистого оксида алюминия в качестве материала печи может значительно уменьшить потери энергии Zui
• Двигатель постоянного тока вращает кварцевую трубку со скоростью 0 - 10 RPM
• Угол наклона печи 30°
• Корпус печи спроектирован как открытый для работы и быстрого охлаждения образца

зона нагрева

• Общая длина трех температурных зон: 600 мм
• Температурная зона 1: 150 мм (6 ')
• Температурная зона 2: 300 мм (12 ')
• Температурная зона 3: 150 мм (6 ')
• Температурная зона: 450mm @ + / - 2°C (в трех температурных зонах устанавливается одинаковая температура)

• Инструмент содержит кварцевую трубку.
• 尺寸： 130 мм В.Д. х 120 мм В.Д. х 1200 мм В + 60О.Д.mm (диаметр на обоих концах)
• 
• Инструмент содержит вакуумный фланец из нержавеющей стали (на нем уже установлен игольчатый клапан из нержавеющей стали)

соединение

• Интерфейс конца впуска: интерфейс чехла для 6.35
• Выхлопной штуцер: штуцер пагоды для 12

рабочая температура

• Температура непрерывного использования: 1100°C
• zui Высокая рабочая температура: 1200°C < 1 h

Система контроля температуры

• Три зоны температуры с использованием трех систем управления температурой, все регулируются методом PID, вы можете установить 30 - секционную программу повышения и падения температуры
• На корпусе установлен интерфейс RS485, можно приобрести модуль контроля температуры, используя компьютер для управления нагреванием корпуса печи

Термопара

• Три бронированные термопары Omega K
• 

真空泵和冷井

• С двухполюсным спиральным вакуумным насосом с фильтром масляного тумана
• Можно выбрать холодную скважину, чтобы предотвратить повреждение вакуумных насосов отложениями в эксперименте.
• 

Система подачи газа

• 4 - канальная прецизионная система управления газом, с использованием расходомера массы, управление сенсорным экраном, может одновременно входить в 1 - 4 различных газов
• Примечание: Если входящий газ является легковоспламеняющимся и взрывоопасным, оборудование должно быть установлено в вентиляционном шкафу
• 

Большая мощность Zui

4 кВт

напряжение

208 - 240В однофазный (требуется воздушный выключатель 30А)

гарантия

Один год гарантийного срока, пожизненное обслуживание (без печных труб, уплотнительных колец и нагревательных элементов)

Сертификация качества

• Сертификация CE
• Все электрические компоненты (> 24V) сертифицированы UL   /   MET   /   CSA
• Если клиент оплачивает сертификацию, компания гарантирует, что одно устройство будет сертифицировано TUV или CAS в Германии.
• 

нетто

130 кг

Применение мер предосторожности

• Этот комплект оборудования может сочетаться с устройством непрерывной подачи нашей компании для достижения эффекта непрерывной подачи
• 

Предупреждение

• Давление в трубе не должно превышать 0,02 МПа.
• Из - за высокого давления внутри баллона, поэтому при подаче газа в трубу печи на баллоне должен быть установлен редуктор давления, рекомендуется приобрести редуктор в нашей компании, диапазон редуктора составляет 0,01 МПа - 0,1 МПа, использование будет более точным и безопасным
• Когда температура корпуса печи выше 1000 °C, труба не должна находиться в вакууме, давление в трубе должно быть таким же, как атмосферное давление, и поддерживаться в состоянии атмосферного давления
• Поток газа, поступающего в трубу печи, должен быть меньше 200 SCCM, чтобы избежать удара холодного большого потока воздуха по нагретым кварцевым трубам
• Температура длительной эксплуатации кварцевой трубки < 1100°C
• Для экспериментов по нагреванию образцов не рекомендуется закрывать вытяжные и впускные клапаны на фланцевом конце трубы печи. Если необходимо выключить воздушный клапан для нагрева образца, всегда обращайте внимание на индикатор манометра, если значение давления воздуха превышает 0,02 МПа, необходимо немедленно открыть клапан сброса воздуха, чтобы предотвратить несчастный случай (например, разрыв трубы печи, вылет фланца и т.д.)