6 / 8 - дюймовый автоматический корытный очиститель

1. Обзор продукции:

Серия GAMA6 / 8 - дюймовый автоматический корытный очистительУдовлетворение всех потребностей мокрого процесса, охватывающего такие приложения, как RCA, PR Strip, Solvent, Wet Etch, для типичных технологических узлов 0,35um и 0,18um, поддерживающих 90 - нм технологические узлы, совместимые с 6 - дюймовыми и 8 - дюймовыми кристалламиА.

2. оборудованиеприложениеА.

Размер кристаллической окружности

6, 8 дюймов

Применимые материалы

Силикон, карбид кремния, нитрид галлия на основе кремния

Применимая технология

Предварительная очистка, дегельминтизация, удаление нитрида кремния, удаление металлов(Co, Ti), очистка Recycle, очистка после полировки, очистка перед Epi, очистка после Epi

Сфера применения

Интегрированные схемы, материалы подложки, полупроводники соединений, полупроводники мощности

3. ОсобенностиА.

Северный Хуачэн Моющие машины GAMA Series демонстрируют однородность коррозииСовершенно очевидно.Коррозионная однородность имеет решающее значение для обеспечения последовательности и стабильности производства чипов.
Благодаря хорошо продуманной системе потока жидкости, механизму распределения химических растворов и стратегии контроля температуры стиральная машина обеспечивает очень однородный коррозионный эффект на всей поверхности чипа. Степень коррозии сохраняется как на больших площадях чипов, так и в сложных областях графической структуры.
Могут использоваться такие технологии, как равномерное распыление с несколькими соплами и вращающаяся очистка, чтобы химический раствор мог равномерно покрывать поверхность чипа, избегая чрезмерной или недостаточной локальной коррозии. В то же время точная система контроля температуры обеспечивает однородность температуры на протяжении всего процесса очистки, поскольку разница в температуре может влиять на скорость и однородность коррозионных реакций. В практическом применении, даже перед лицом чипов различного материала и толщины, стиральная машина обеспечивает отличную однородность коррозии, что эффективно улучшает качество и производительность чипа.

4. Особенности оборудования

Конструкция компактная и занимает небольшую площадь

Модульный дизайн, конфигурация гибкая, масштабируемая

Зрелая конструкция технологического желоба для обеспечения технологической стабильности

Точная химическая весовая система, обеспечивающая высококачественный процесс