Строительство чистого завода в Чжухае

Строительство чистого завода в Чжухае широко известно как пыльный цех, очистительный цех, чистая комната и другие названия; Это означает, что частицы, вредный воздух, бактерии и другие загрязняющие вещества в воздухе в определенном пространстве исключаются, а температура, чистота, давление в помещении, скорость воздушного потока и распределение воздушного потока, шумовые вибрации и освещение, электростатический контроль в определенном диапазоне потребностей и специально спроектированная комната.

Строительство чистого завода в ЧжухаеШироко известен как цех без пыли, цех очистки, чистая комната и другие названия; Это означает, что частицы, вредный воздух, бактерии и другие загрязняющие вещества в воздухе в определенном пространстве исключаются, а температура, чистота, давление в помещении, скорость воздушного потока и распределение воздушного потока, шумовые вибрации и освещение, электростатический контроль в определенном диапазоне потребностей и специально спроектированная комната.

Строительство чистого завода в ЧжухаеКонтроль температуры и влажности

Температура и влажность в чистом пространстве в основном определяются технологическими требованиями, но при соблюдении технологических требований следует учитывать комфорт человека. По мере повышения требований к чистоте воздуха наблюдается тенденция к ужесточению требований к температуре и влажности в процессе. Конкретные технологические требования к температуре будут перечислены позже, но, как общий принцип, поскольку точность обработки становится все более тонкой, требования к диапазону температурных колебаний становятся все меньше и меньше. Например, при фотолитографической экспозиции, производимой на крупномасштабных интегральных схемах, разница в коэффициентах теплового расширения стекла и кремниевых пластин, используемых в качестве материала для покрытия, становится все меньше и меньше. Силиконовые пластины диаметром 100 м, повышение температуры на 1 градус вызывает линейное расширение 0,24um, поэтому должна быть постоянная температура ± 0,1 градуса, в то время как значение влажности, как правило, ниже, потому что после того, как человек потеет, продукт будет загрязнен, особенно в полупроводниковой мастерской, которая боится натрия, температура этого цеха не должна превышать 25 градусов, слишком высокая влажность создает больше проблем. Когда относительная влажность превышает 55%, стенки охлаждающей трубы могут появляться, и если это происходит в прецизионном устройстве или цепи, это может привести к различным авариям. Относительная влажность подвержена ржавчине при 50%. Кроме того, когда влажность слишком высока, пыль, прилипающая к поверхности кремния, химически адсорбируется через молекулы воды в воздухе, которые трудно удалить. Чем выше относительная влажность, тем труднее удалить адгезию, но когда относительная влажность ниже 30%, частицы также легко адсорбируются на поверхность из - за статического электричества, в то время как большое количество полупроводниковых устройств подвержены пробоям. Для производства кремниевых пластин оптимальная влажность составляет 3545%.

Давление воздуха

Для большинства чистых пространств, чтобы предотвратить проникновение внешнего загрязнения, необходимо поддерживать внутреннее давление (статическое давление) выше внешнего (статическое давление). Поддержание перепада давления должно, как правило, соответствовать следующим принципам:

Давление в чистом пространстве выше, чем в нечистом.

Давление в пространстве с высоким уровнем чистоты выше, чем в соседнем пространстве с низким уровнем чистоты.

Поддержание перепада давления зависит от количества свежего воздуха, которое компенсирует утечку воздуха из щели при этом перепаде давления. Таким образом, физическое значение перепада давления - это сопротивление утечке (или проникновению) воздуха через различные щели в чистой комнате.

Скорость потока воздуха в чистой камере

Скорость потока воздуха, обсуждаемая здесь, относится к скорости потока воздуха в чистом помещении, а скорость потока воздуха в других чистых пространствах описывается при обсуждении конкретного оборудования.

Для камеры очистки от турбулентности, поскольку главным образом разбавление воздуха для уменьшения степени загрязнения в помещении, в основном используется концепция количества вентиляции, а не непосредственно концепция скорости, но скорость внутреннего воздушного потока также имеет следующие требования;

(1) Скорость потока на выходе вентиляционного отверстия не должна быть слишком большой, по сравнению с комнатой с простым кондиционером, требующей более быстрого затухания скорости и большего угла диффузии.

(2) Скорость воздушного потока через горизонтальную поверхность (например, скорость обратного потока при боковой подаче) не должна быть слишком большой, чтобы не вдувать поверхностные частицы обратно в воздушный поток, вызывая повторное загрязнение, эта скорость, как правило, не должна быть сухой 0,2 м / с.

Для камеры очистки параллельного потока обычно называют ламинарной чистой камерой, так как в основном воздушный поток « поршневой экструзионный эффект исключает линейную окраску, поэтому скорость на сечении является очень важным показателем. В прошлом все ссылались на американский стандарт 20gB, используя 0,45 м / с, но люди также понимают, что такая большая скорость требует большого количества вентиляции, для экономии энергии, также изучают возможность снижения скорости ветра.

В нашей стране, « Технические меры по очистке воздуха» и (спецификации проектирования чистых заводов) так предусмотрено

Вертикальный параллельный поток (ламинарный поток) Чистая камера ≥ 0,25 м / с

Горизонтальный параллельный поток (ламинарный поток) Чистая камера ≥ 0,35 м / с

Управление шумом

Стандарты шума в чистых комнатах, как правило, более строгие, чем стандарты защиты здоровья, чтобы гарантировать нормальную работу, необходимую для общения и безопасной и комфортной рабочей среды. Основными показателями шума в чистых помещениях являются:

1. Последствия беспокойства

Из - за шума люди чувствуют себя неспокойными и вызывают раздражающие эмоции, как правило, делятся на чрезвычайно тихие, очень тихие, более тихие, немного шумные, более шумные и очень шумные семь уровней беспокойства. В тех случаях, когда уровень реагирования относится к категории шумных и крайне шумных, он является высоким, а в процентах от общего числа людей высокий уровень беспокойства является высоким.

2. Последствия для эффективности работы

Это в основном зависит от уровня реакции в трех аспектах, эти три аспекта: концентрация, точность действия, скорость работы

3. Вмешательство в интегрированную связь

Это в основном делится: ясно или удовлетворительно, немного трудно, трудно, невозможно

Все три показателя оцениваются на уровне А. В 50х годах в качестве критерия оценки была предложена спектральная кривая в соответствии с которой уровень звукового давления на центральной частоте каждого диапазона частот не должен превышать эту кривую. Позже выяснилось, что уровень щетки A для измерения уровня шума и шума голосовых помех и раздражения более подходит и может заменить уровень звукового давления в диапазоне частот в качестве показателя стандарта оценки.

К нему предъявляются высокие требования. Для начала необходимо указать, как освещена комната без окон:

(1) Общее освещение

Это означает освещение, установленное для освещения всей освещенной площади без учета особых местных потребностей.

(2) Местное освещение

Это относится к освещению, установленному для увеличения освещенности конкретного места (например, рабочего места). Но освещение в помещении осуществляется, как правило, без индивидуального использования местного освещения.

(3) Смешанное освещение

Это относится к освещению на поверхности, которое состоит из общего и местного освещения, в котором освещение общего освещения должно составлять 10% от общей освещенности в соответствии с Правилами проектирования чистых установок, но не ниже сухого 150LX. Приемлемым световым потоком на единицу освещенной площади является осветительная единица Lex (LX).

Требования к прочности в чистых комнатах за рубежом высоки, например, некоторые стандарты США для чистых комнат:Искусственный свет 300lx имеет лучшие результаты, и 500x также разрешен, когда детали более тонкие. Для мест, требующих освещения красным светом, таких как фотолитографические мастерские электронной промышленности, освещение обычно составляет (25501x),При естественном освещении допускается более высокая освещенность и, следовательно, это выгодно для работы, поэтому в будущем освещение в чистых камерах может быть как искусственным, так и естественным, что также является тенденцией к энергосбережению.

антистатический

Из - за частых аварий, вызванных статическим электричеством в чистых камерах, антистатическая способность чистых комнат стала неотъемлемым аспектом оценки их качества.

Так называемое статическое электричество, потому что трение и другие причины разрушают равномерное электрическое нейтральное состояние положительного (+) отрицательного (-) заряда эквивалента в объекте, в то время как избыточный заряд, объект находится в заряженном состоянии, так как эти заряды обычно не текут, поэтому называется статическое электричество.

Аварии, вызванные статическим электричеством в чистых помещениях, имеют следующие аспекты:

1. электростатическое воздействие электрического тока, вызываемое электростатическим электричеством, вызывает у людей чувство небезопасности и страха и может привести к вторичным травмам (например, к падению в результате воздействия электрического тока, а также к травмам в результате падения);

2. Электрический разряд, вызванный электростатическим разрядом, может приводить к разрушению и неправильному действию, например, полупроводниковых элементов, таких как размещение 50 схем P - MOS в пластиковых пакетах, при этом после нескольких колебаний их количество составляет 39 штук, что приводит к серьезному пробою с нештатной сеткой, что приводит к 78 - процентной неэффективности, поскольку полупроводниковые устройства очень чувствительны к электростатическим разрядам;

Электромагнитные волны, создаваемые электростатическими разрядами, могут вызывать шум и неправильное движение электронных приборов и устройств;

Свет от электростатического разряда может приводить к сенсорным разрушениям, таким как фотопластины конечностей;

5. Электрические механические явления могут приводить к засорению отверстий сита пылью, беспорядочному прядению, неравномерной глубине печатных материалов и загрязнению изделий.

Возникновение электростатических аварий в основном заключается в производстве и накоплении статического электричества, а поток воздушного потока, воздушный поток и трубопроводы, вентиляционные отверстия, фильтры и другое трение, трение между человеческим телом и одеждой, трение между одеждой, технологическое шлифование, распыление, струя, промывка, перемешивание, склеивание и отслаивание и другие операции, все варианты могут генерировать статическое электричество, в общем случае, чем больше непроводник (изолятор) с низкой проводимостью, так как заряд нелегко течь, поэтому проявляется как легче заряжается.

Таким образом, электростатические проблемы особенно серьезны в чистой комнате, потому что не только в чистой комнате есть вышеупомянутые различные технологические факторы для производства статического электричества, но и потому, что многие материалы в чистой комнате, такие как пластмассовый пол, стены, нейлон, хорошая рабочая одежда, имеют высокую удельное сопротивление, очень легко генерировать статическое электричество и концентрированное статическое электричество, эти материалы широко используются до того, как электростатические катастрофы в чистой комнате не будут оценены.